Piikarbidipinnoite Grafiitti MOCVD-kiekon kantajat suskeptorit

SiC Coating Graphite MOCVD Wafer Carriers Susceptors Featured Image

Lyhyt kuvaus:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth on korkean suorituskyvyn tuote, joka on suunniteltu tarjoamaan tasaisen ja luotettavan suorituskyvyn pitkän ajan. Sillä on erittäin hyvä lämmönkestävyys ja lämpötasaisuus, korkea puhtaus, eroosionkestävyys, joten se on täydellinen ratkaisu kiekkojen käsittelysovelluksiin.

Lähetä meille sähköpostia Lataa PDF-muodossa

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

SiC pinnoite grafiitti MOCVD kiekkokannattimet/suskeptori

Kaikki suskeptorimme on valmistettu erittäin lujasta isostaattisesta grafiitista. Hyödynnä grafiittiemme korkeaa puhtautta – kehitetty erityisesti haastaviin prosesseihin, kuten epitaksiin, kiteen viljelyyn, ionien istuttamiseen ja plasmaetsaukseen, sekä LED-sirujen tuotantoon.

Tuotteidemme ominaisuudet:

1. Korkean lämpötilan hapettumiskestävyys jopa 1700 ℃.
2. Korkea puhtaus ja lämpötasaisuus
3. Erinomainen korroosionkestävyys: happo, alkali, suola ja orgaaniset reagenssit.
4. Korkea kovuus, kompakti pinta, hienojakoisia hiukkasia.
5. Pidempi käyttöikä ja kestävämpi

CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC:n fysikaaliset perusominaisuudetpinnoite
性质 / Omaisuus	典型数值 / Tyypillinen arvo
晶体结构 / Crystal Structure	FCC p-vaihe多晶，主要为（111）取向
密度 / Tiheys	3,21 g/cm³
硬度 / Kovuus	2500 维氏硬度 (500 g kuorma)
晶粒大小 / viljan koko	2-10 μm
纯度 / Kemiallinen puhtaus	99,99995 %
热容 / Lämpökapasiteetti	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimaatiolämpötila	2700 ℃
抗弯强度 / Taivutusvoima	415 MPa RT 4-piste
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt taivutus, 1300 ℃
导热系数 / ThermalJohtavuus	300 W · m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Lämpölaajeneminen (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy on räätälöityjen grafiitti- ja piikarbidituotteiden todellinen valmistaja erilaisilla pinnoitteilla, kuten SiC-pinnoite, TaC-pinnoite, lasimainen hiilipinnoite, pyrolyyttinen hiilipinnoite jne., Voi toimittaa erilaisia räätälöityjä osia puolijohde- ja aurinkosähköteollisuudelle.

Tekninen tiimimme tulee parhaista kotimaisista tutkimuslaitoksista, voi tarjota sinulle ammattimaisempia materiaaliratkaisuja.

Kehitämme jatkuvasti edistyneitä prosesseja tarjotaksemme entistä kehittyneempiä materiaaleja, ja olemme kehittäneet ainutlaatuisen patentoidun teknologian, joka voi tehdä pinnoitteen ja alustan välisestä sidoksesta tiukemman ja vähemmän altis irtoamiselle.

Lämpimästi tervetuloa vierailemaan tehtaallamme, keskustellaan lisää!