Kuinka puhdistaa PECVD-grafiittivene？| Ammatillinen koulutus

1. Kuittaus ennen puhdistusta

1) KunPECVD grafiittivene/carrier käytetään yli 100-150 kertaa, käyttäjän on tarkistettava pinnoitteen kunto ajoissa. Jos pinnoite on epänormaali, se on puhdistettava ja vahvistettava. Grafiittiveneen/kannattimen piikiekon normaali pinnoiteväri on sininen. Jos kiekossa on ei-sininen, useita värejä tai kiekkojen välinen väriero on suuri, kyseessä on epänormaali pinnoite ja poikkeaman syy on vahvistettava ajoissa.
2) Prosessin jälkeen henkilökunta analysoi pinnoitteen kunnonPECVD grafiittivene/carrier, he selvittävät tarvitseeko grafiittivene puhdistaa ja korttipisteen vaihtoa, ja puhdistettava grafiittivene/teline luovutetaan kalustohenkilöstölle puhdistettavaksi.

 

3) jälkeengrafiittivene/kannatin on vaurioitunut, tuotantohenkilöstö ottaa pois kaikki grafiittiveneen piikiekot ja käyttää CDA:ta (paineilma) lajitellakseen palasetgrafiittivene. Valmistumisen jälkeen laitehenkilöstö nostaa sen happosäiliöön, joka on valmistettu tietyllä määrällä HF-liuosta puhdistusta varten.

 

2. Grafiittiveneen puhdistus

On suositeltavaa käyttää 15-25-prosenttista fluorivetyhappoliuosta kolmeen puhdistuskierrokseen, kukin 4-5 tuntia, ja ajoittain kuplittamalla typpeä liotuksen ja puhdistuksen aikana, lisäämällä noin puolen tunnin puhdistusta; huomautus: ei ole suositeltavaa käyttää ilmaa suoraan kuplituksen kaasulähteenä. Peittauksen jälkeen huuhtele puhtaalla vedellä noin 10 tunnin ajan ja varmista, että vene on puhdistettu perusteellisesti. Tarkista puhdistuksen jälkeen veneen pinta, grafiittikorttipiste ja veneen levyliitos ja muut osat nähdäksesi, onko siinä piinitridijäämiä. Kuivaa sitten vaatimusten mukaan.

3. Puhdistustoimenpiteet

A) Koska HF-happo on erittäin syövyttävä aine ja sillä on tietty haihtuvuus, se on vaarallista käyttäjille. Siksi siivouspisteen käyttäjien on ryhdyttävä varotoimiin, ja heitä ohjaa omistettu henkilö.

B) On suositeltavaa purkaa vene ja puhdistaa vain grafiittiosa puhdistuksen aikana, jotta jokainen kosketusosa voidaan puhdistaa perusteellisemmin. Tällä hetkellä monet kotimaiset valmistajat käyttävät yleispuhdistusta, mikä on kätevää, mutta koska HF-happo syövyttää keraamisia osia, kokonaispuhdistus lyhentää vastaavien osien käyttöikää.