Piikarbidilla päällystetty grafiittisubstraatti puolijohteelle, MOCVD-suskeptori

Lyhyt kuvaus:

VET Energy SiC Coated Susceptor on korkean suorituskyvyn tuote, joka on suunniteltu tarjoamaan tasaisen ja luotettavan suorituskyvyn pitkän ajan. Sillä on erittäin hyvä lämmönkestävyys ja lämpötasaisuus, korkea puhtaus, eroosionkestävyys, joten se on täydellinen ratkaisu kiekkojen käsittelysovelluksiin.

Alkuperäpaikka:Zhejiang, Kiina (Manner)

Mallinumero:Mallinumero:

Kemiallinen koostumus:SiC-pinnoitettu grafiitti

Taivutuslujuus:470Mpa

Lämmönjohtavuus:300 W/mK

Laatu:Täydellinen

Tehtävä:CVD-SiC

Sovellus:Puolijohde/valosähkö

Tiheys:3,21 g/cc

Lämpölaajeneminen:4 10-6/K

Tuhka: <5 ppm

Näyte:Saatavilla

HS-koodi:6903100000

Lähetä meille sähköpostia Lataa PDF-muodossa

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

VET Energy SiC -pinnoitettu suskeptorion erittäin suorituskykyinen ratkaisu, joka on huolellisesti suunniteltu tarjoamaan luotettavaa ja tasaista suorituskykyä pidennetyn käyttöiän ajan ja täyttää puolijohteiden valmistuksen tiukat vaatimukset. Poikkeuksellisen lämmönkestävyyden, erinomaisen lämmön tasaisuuden ja korkean puhtauden ansiosta tämä tuote on ihanteellinen MOCVD-kiekkojen alustaan ja muihin kiekkojen käsittelysovelluksiin, jotka vaativat vakautta ja tarkkuutta. Sen vankka eroosionkestävyys tekee siitä ensiluokkaisen valinnan ympäristöihin, joissa kestävyys ja kemiallinen joustavuus ovat tärkeitä.

MeidänSiC-pinnoitettu grafiittisuskeptoriSe on kriittinen komponentti puolijohteiden valmistusprosessissa hyödyntäen VET Energyn ainutlaatuista patentoitua teknologiaa erittäin korkean puhtauden, erinomaisen pinnoitteen tasaisuuden ja huomattavan lämpöstabiilisuuden saavuttamiseksi. Pinnoite parantaa grafiittisubstraattia korkealla kemikaalinkestävyydellä ja merkittävästi pidennetyllä käyttöiällä. VET Energyn omistautuminen laatuun on johtanut SiC-päällysteiseen suskeptoriin, joka vastaa grafiittikiekkojen alustamarkkinoiden muuttuviin tarpeisiin ja asettaa korkean standardin SiC-pinnoitetuille grafiittisuskeptoreille, joita käytetäänMOCVD-prosessit.

SiC-pinnoitettujen suskeptorien tärkeimmät ominaisuudet:

1. Korkean lämpötilan hapettumisenkestävyys:Kestää jopa 1700 ℃ lämpötiloja, joten se sopii äärimmäisiin käsittelyolosuhteisiin.

2. Korkea puhtaus ja lämpötasaisuus:Takaa tasaiset tulokset, elintärkeäMOCVD-suskeptoritja muut tarkkuussovellukset.

3. Erinomainen korroosionkestävyys:Kestää happoja, emäksiä, suoloja ja erilaisia orgaanisia reagensseja.

4. Parannettu pinnan kovuus:Kompakti pinta hienoilla hiukkasilla, jotka lisäävät kestävyyttä ja pitkäikäisyyttä.

5. Pidentynyt käyttöikä:Suunniteltu jatkuvaan suorituskykyyn, suorituskykyä paremmin kuin tavalliset piikarbidilla päällystetyt suskeptorit ankarissa käsittelyympäristöissä.

Johtavana valmistajana VET Energy on erikoistunut räätälöityyn grafiittiin japiikarbidituotteeterilaisilla pinnoitusvaihtoehdoilla, mukaan lukienSiC pinnoite, TaC pinnoite, lasimainen hiilipinnoiteja pyrolyyttinen hiilipinnoite. Palvelemme ylpeänä puolijohde- ja aurinkosähköteollisuutta ja toimitamme piikarbidilla päällystettyjä grafiittisuskeptoreita, jotka täyttävät erityiset toiminnalliset vaatimukset.

Tekninen tiimimme, jolla on kokemusta parhaista kotimaisista tutkimuslaitoksista, on omistautunut kehittämään materiaaliratkaisuja alan kehittyviin tarpeisiin.SiC-pinnoitettu grafiittisuskeptorimarkkinoida. Patentoidulla prosessillamme VET Energy on kehittänyt ainutlaatuisen teknologian, joka parantaa merkittävästi piikarbidipinnoitteen ja alustan välistä sidoslujuutta, mikä vähentää irtoamisriskiä ja parantaa pitkän aikavälin luotettavuutta.

Sovellukset ja edut puolijohdekäsittelyssä

TheSiC-pinnoite MOCVD:llemahdollistaagrafiittisuskeptorikomponentit säilyttämään eheyden korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä ympäristöissä, mikä on elintärkeää tarkkuuspuolijohteiden tuotannossa. Näitä piikarbidilla päällystettyjä grafiittikomponentteja arvostetaan erityisesti prosesseissa, joissa tarvitaan piikarbidilla päällystettyjä suskeptoreitagrafiittikiekkojen alustat, jotka vaativat suurta lämpöstabiilisuutta, puhtautta ja kemiallisen eroosion kestävyyttä.

Kehittyneillä piikarbidipinnoitustekniikoillamme VET Energy jatkaa grafiittikiekkojen alustamarkkinoiden tukemista toimittamalla räätälöityjä, korkean suorituskyvynSiC-pinnoitetut grafiittisuskeptoritjotka vastaavat toimialakohtaisiin haasteisiin MOCVD-prosesseista erittäin puhtaisiin puolijohdealan sovelluksiin.