vet-china varmistaa, että jokainen KestäväPiikarbidikiekon käsittelymelaon erinomainen suorituskyky ja kestävyys. Tämä piikarbidikiekon käsittelylapa käyttää edistyneitä valmistusprosesseja varmistaakseen, että sen rakenteellinen vakaus ja toimivuus säilyvät korkeissa lämpötiloissa ja kemiallisissa korroosioympäristöissä. Tämä innovatiivinen muotoilu tarjoaa erinomaisen tuen puolijohdekiekkojen käsittelyyn, erityisesti erittäin tarkkoihin automatisoituihin toimiin.
SiC ulokemelaon erikoistunut komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistuslaitteissa, kuten hapetusuunissa, diffuusiouunissa ja hehkutusuunissa, pääasiallinen käyttötarkoitus kiekkojen lataamiseen ja purkamiseen, tukee ja kuljettaa kiekkoja korkean lämpötilan prosesseissa.
Yhteiset rakenteet/SiCcantivipuplisäke: ulokerakenne, joka on kiinnitetty toisesta päästä ja vapaa toisesta, on tyypillisesti litteä ja melamainen.
Työskentelypperiaate/SiCcantivipuplisäke:
Ulokelapa voi liikkua ylös ja alas tai edestakaisin uunikammion sisällä, sillä voidaan siirtää kiekkoja lastausalueelta käsittelyalueille tai pois käsittelyalueilta tukemalla ja stabiloimalla kiekkoja korkean lämpötilan käsittelyn aikana.
| Uudelleenkiteytetyn piikarbidin fysikaaliset ominaisuudet | |
| Omaisuus | Tyypillinen arvo |
| Käyttölämpötila (°C) | 1600°C (hapella), 1700°C (pelkistävä ympäristö) |
| SiC-sisältö | > 99,96 % |
| Ilmainen Si-sisältö | < 0,1 % |
| Bulkkitiheys | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Näennäinen huokoisuus | < 16 % |
| Puristusvoima | > 600 MPa |
| Kylmätaivutuslujuus | 80-90 MPa (20°C) |
| Kuumataivutuslujuus | 90-100 MPa (1400°C) |
| Lämpölaajeneminen @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Lämmönjohtavuus @1200°C | 23 W/m•K |
| Elastinen moduuli | 240 GPa |
| Lämpöiskun kestävyys | Erittäin hyvä |
