EdistynytSiC ulokemelavet-chinan luoma Wafer Processing tarjoaa erinomaisen ratkaisun puolijohteiden valmistukseen. Tämä ulokemela on valmistettu SiC (piikarbidi) -materiaalista, ja sen korkea kovuus ja lämmönkestävyys mahdollistavat sen erinomaisen suorituskyvyn korkeassa lämpötilassa ja syövyttävässä ympäristössä. Cantilever Paddlen muotoilu mahdollistaa kiekon luotettavan tuen käsittelyn aikana, mikä vähentää sirpaloitumis- ja vaurioitumisriskiä.
SiC ulokemelaon erikoistunut komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistuslaitteissa, kuten hapetusuunissa, diffuusiouunissa ja hehkutusuunissa, pääasiallinen käyttötarkoitus kiekkojen lataamiseen ja purkamiseen, tukee ja kuljettaa kiekkoja korkean lämpötilan prosesseissa.
Yhteiset rakenteet/SiCcantivipuplisäke: ulokerakenne, joka on kiinnitetty toisesta päästä ja vapaa toisesta, on tyypillisesti litteä ja melamainen.
VET Energy käyttää erittäin puhdasta uudelleenkiteytettyä piikarbidimateriaalia laadun takaamiseksi.
| Uudelleenkiteytetyn piikarbidin fysikaaliset ominaisuudet | |
| Omaisuus | Tyypillinen arvo |
| Käyttölämpötila (°C) | 1600°C (hapella), 1700°C (pelkistävä ympäristö) |
| SiC-sisältö | > 99,96 % |
| Ilmainen Si-sisältö | < 0,1 % |
| Bulkkitiheys | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Näennäinen huokoisuus | < 16 % |
| Puristusvoima | > 600MPa |
| Kylmätaivutuslujuus | 80-90 MPa (20°C) |
| Kuumataivutuslujuus | 90-100 MPa (1400°C) |
| Lämpölaajeneminen @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Lämmönjohtavuus @1200°C | 23W/m•K |
| Elastinen moduuli | 240 GPa |
| Lämpöiskun kestävyys | Erittäin hyvä |
VET Energyn Advanced SiC Cantilever Paddle kiekkojen käsittelyyn edut ovat:
-Korkean lämpötilan stabiilisuus: voidaan käyttää yli 1600 °C:n ympäristöissä;
-Matala lämpölaajenemiskerroin: säilyttää mittavakauden, mikä vähentää kiekkojen vääntymisriskiä;
-Korkea puhtaus: pienempi metallikontaminaation riski;
-Kemiallinen inertisyys: korroosionkestävä, sopii erilaisiin kaasuympäristöihin;
-Suuri lujuus ja kovuus: kulutusta kestävä, pitkä käyttöikä;
-Hyvä lämmönjohtavuus: auttaa tasaisessa kiekkojen kuumentamisessa.
