Edistyksellinen SiC-ulokelapa kiekkojen käsittelyyn

Lyhyt kuvaus:

Vet-chinan lanseeraama Advanced SiC Cantilever Paddle for Wafer Processing käyttää korkean teknologian piikarbidimateriaaleja kiekkojen käsittelyn tehokkuuden ja tarkkuuden parantamiseksi. Vet-chinan ulokemelassa on erinomainen lämmönkestävyys ja korroosionkestävyys, mikä takaa vakaan kiekkojen käsittelysuorituskyvyn ankarissa valmistusympäristöissä, joten se on ihanteellinen valinta tuotannon tuoton parantamiseen.

Lähetä meille sähköpostia Lataa PDF-muodossa

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

EdistynytSiC ulokemelavet-chinan luoma Wafer Processing tarjoaa erinomaisen ratkaisun puolijohteiden valmistukseen. Tämä ulokemela on valmistettu SiC (piikarbidi) -materiaalista, ja sen korkea kovuus ja lämmönkestävyys mahdollistavat sen erinomaisen suorituskyvyn korkeassa lämpötilassa ja syövyttävässä ympäristössä. Cantilever Paddlen muotoilu mahdollistaa kiekon luotettavan tuen käsittelyn aikana, mikä vähentää sirpaloitumis- ja vaurioitumisriskiä.

SiC ulokemelaon erikoistunut komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistuslaitteissa, kuten hapetusuunissa, diffuusiouunissa ja hehkutusuunissa, pääasiallinen käyttötarkoitus kiekkojen lataamiseen ja purkamiseen, tukee ja kuljettaa kiekkoja korkean lämpötilan prosesseissa.

Yhteiset rakenteet/SiCcantivipuplisäke: ulokerakenne, joka on kiinnitetty toisesta päästä ja vapaa toisesta, on tyypillisesti litteä ja melamainen.

VET Energy käyttää erittäin puhdasta uudelleenkiteytettyä piikarbidimateriaalia laadun takaamiseksi.

Uudelleenkiteytetyn piikarbidin fysikaaliset ominaisuudet
Omaisuus	Tyypillinen arvo
Käyttölämpötila (°C)	1600°C (hapella), 1700°C (pelkistävä ympäristö)
SiC-sisältö	> 99,96 %
Ilmainen Si-sisältö	< 0,1 %
Bulkkitiheys	2,60-2,70 g/cm³
Näennäinen huokoisuus	< 16 %
Puristusvoima	> 600MPa
Kylmätaivutuslujuus	80-90 MPa (20°C)
Kuumataivutuslujuus	90-100 MPa (1400°C)
Lämpölaajeneminen @1500°C	4,70 10^-6/°C
Lämmönjohtavuus @1200°C	23W/m•K
Kimmomoduuli	240 GPa
Lämpöiskun kestävyys	Erittäin hyvä