piikarbidi keraaminen pinnoite lämmitin

Eläinlääkäri-KiinaPiikarbidikeramiikkaCoating on erittäin suorituskykyinen suojapinnoite, joka on valmistettu erittäin kovasta ja kulutusta kestävästä materiaalistapiikarbidi (SiC)materiaali, joka tarjoaa erinomaisen kemiallisen korroosionkestävyyden ja stabiilisuuden korkeissa lämpötiloissa. Nämä ominaisuudet ovat ratkaisevia puolijohteiden tuotannossa, jotenKeraaminen piikarbidipinnoiteSitä käytetään laajalti puolijohdevalmistuslaitteiden avainkomponenteissa.

Vet-Chinan erityinen rooliPiikarbidikeramiikkaPuolijohteiden valmistuksessa pinnoitus on seuraava:

Paranna laitteiden kestävyyttä:Keraaminen piikarbidipinnoite Piikarbidikeraaminen pinnoite tarjoaa erinomaisen pintasuojan puolijohdevalmistuslaitteille erittäin suurella kovuudellaan ja kulutuskestävyytensä ansiosta. Erityisesti korkeissa lämpötiloissa ja erittäin syövyttävissä prosessiympäristöissä, kuten kemiallinen höyrypinnoitus (CVD) ja plasmaetsaus, pinnoite voi tehokkaasti estää laitteiston pinnan vaurioitumisen kemiallisen eroosion tai fyysisen kulumisen vuoksi, mikä pidentää merkittävästi laitteen käyttöikää. laitteita ja vähentää toistuvista vaihdoista ja korjauksista johtuvia seisokkeja.

Paranna prosessin puhtautta:Puolijohteiden valmistusprosessissa pieni kontaminaatio voi aiheuttaa tuotevirheitä. Silicon Carbide Ceramic Coating -pinnoitteen kemiallinen inertisyys mahdollistaa sen pysymisen vakaana äärimmäisissä olosuhteissa, mikä estää materiaalia vapauttamasta hiukkasia tai epäpuhtauksia, mikä varmistaa prosessin ympäristön puhtauden. Tämä on erityisen tärkeää valmistusvaiheissa, jotka vaativat suurta tarkkuutta ja suurta puhtautta, kuten PECVD ja ioni-istutus.

Optimoi lämmönhallinta:Korkean lämpötilan puolijohdekäsittelyssä, kuten nopeassa lämpökäsittelyssä (RTP) ja hapetusprosesseissa, piikarbidikeraamisen pinnoitteen korkea lämmönjohtavuus mahdollistaa tasaisen lämpötilan jakautumisen laitteiston sisällä. Tämä auttaa vähentämään lämpötilan vaihteluiden aiheuttamaa lämpöjännitystä ja materiaalin muodonmuutoksia, mikä parantaa tuotteen valmistustarkkuutta ja yhtenäisyyttä.

Tukee monimutkaisia ​​prosessiympäristöjä:Monimutkaista ilmakehän hallintaa vaativissa prosesseissa, kuten ICP-etsaus- ja PSS-etsausprosesseissa, piikarbidikeraamisen pinnoitteen stabiilius ja hapettumisenkestävyys takaavat, että laitteisto säilyttää vakaan suorituskyvyn pitkällä aikavälillä, mikä vähentää materiaalin hajoamisen tai laitteiston vaurioitumisen riskiä. ympäristön muutoksiin.