Professionelle chinesische SIC-Boote transportieren Siliziumwafer in das Rohr des Hochtemperatur-Diffusionsbeschichtungsofens.

Kurzbeschreibung:


Produktdetails

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ProduktDBeschreibung

Siliziumkarbid-Waferboote werden häufig als Waferhalter in Hochtemperaturdiffusionsprozessen eingesetzt.

Vorteile:

Hohe Temperaturbeständigkeit:Normale Verwendung bei 1800 °C

Hohe Wärmeleitfähigkeit:entspricht Graphitmaterial

Hohe Härte:Härte nach Diamant, Bornitrid

Korrosionsbeständigkeit:Starke Säuren und Laugen üben keine Korrosion darauf aus; die Korrosionsbeständigkeit ist besser als die von Wolframcarbid und Aluminiumoxid.

Leichtgewicht:geringe Dichte, ähnlich wie Aluminium

Keine Verformung: niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient

Beständigkeit gegen Temperaturschocks:Es hält starken Temperaturschwankungen stand, widersteht Temperaturschocks und bietet eine stabile Leistung.

 

Physikalische Eigenschaften von SiC

Eigentum Wert Verfahren
Dichte 3,21 g/cm³ Sinken-Schwimmen und Dimension
Spezifische Wärmekapazität 0,66 J/g °K gepulster Laserblitz
Biegefestigkeit 450 MPa 560 MPa 4-Punkt-Biegung, RT4-Punkt-Biegung, 1300°
Bruchzähigkeit 2,94 MPa m1/2 Mikroindentation
Härte 2800 Vickers, 500 g Ladung
Elastizitätsmodul Young-Modul 450 GPa 430 GPa 4-Punkt-Biegung, RT4-Punkt-Biegung, 1300 °C
Körnung 2 – 10 µm SEM

 

Thermische Eigenschaften von SiC

Wärmeleitfähigkeit 250 W/m °K Laserblitzmethode, RT
Wärmeausdehnung (CTE) 4,5 x 10-6 °K Raumtemperatur bis 950 °C, Quarz-Dilatometer

 

 

Boot 1   Boot 2

Boot 3   Boot 4


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