Das bevorzugte Material für Präzisionsteile von Fotolithografiemaschinen. Im Halbleiterbereich werden Siliziumkarbid-Keramikmaterialien hauptsächlich in Schlüsselgeräten für die Herstellung integrierter Schaltkreise verwendet, wie z. B. Siliziumkarbid-Arbeitstische, Führungsschienen, Reflektoren, Keramik-Saugfutter, Arme, ...
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