Wie reinigt man ein PECVD-Graphitboot? | VET Energy

1. Bestätigung vor der Reinigung

1) Wenn diePECVD-GraphitbootWird der Träger mehr als 100 bis 150 Mal verwendet, muss der Bediener den Zustand der Beschichtung regelmäßig überprüfen. Bei einer fehlerhaften Beschichtung ist eine Reinigung und weitere Abklärung erforderlich. Die normale Beschichtungsfarbe der Siliziumwafer im Graphitboot/Träger ist blau. Weist der Wafer eine andere Farbe auf, zeigt er mehrere Farben oder bestehen große Farbunterschiede zwischen den Wafern, handelt es sich um eine fehlerhafte Beschichtung. Die Ursache dieser Abweichung muss umgehend ermittelt werden.
2) Nach Abschluss des Prozesses analysiert das Personal den Zustand der Beschichtung.PECVD-GraphitbootAnhand des Graphitboots bzw. -trägers wird geprüft, ob das Graphitboot gereinigt und die Kartuschenspitze ausgetauscht werden muss. Das zu reinigende Graphitboot bzw. der Graphitträger wird dann dem Gerätepersonal zur Reinigung übergeben.

 

3) Nach demGraphitbootWenn der Träger beschädigt ist, entnimmt das Produktionspersonal alle Siliziumwafer aus dem Graphitboot und sortiert die Fragmente mithilfe von Druckluft aus.GraphitbootNach Fertigstellung wird das Gerät vom Anlagenpersonal in den mit einer bestimmten Menge HF-Lösung vorbereiteten Säuretank zur Reinigung gehoben.

 

2. Reinigung eines Graphitbootes

Es wird empfohlen, die Reinigung mit einer 15-25%igen Fluorwasserstoffsäurelösung in drei Durchgängen à 4-5 Stunden durchzuführen und während des Einweichens und Reinigens regelmäßig Stickstoff einzuleiten (ca. 30 Minuten zusätzliche Reinigungszeit). Hinweis: Die direkte Verwendung von Luft als Gasquelle zum Einleiten des Stickstoffs wird nicht empfohlen. Nach dem Beizen ca. 10 Stunden mit reinem Wasser spülen und sicherstellen, dass das Boot gründlich gereinigt ist. Nach der Reinigung die Oberfläche des Bootes, die Graphitkartenpunkte, die Verbindungsstellen der Bootsplatten und andere Teile auf Siliziumnitridrückstände prüfen. Anschließend gemäß den Anforderungen trocknen.

3. Reinigungsmaßnahmen

A) Da Flusssäure eine stark ätzende und flüchtige Substanz ist, stellt sie eine Gefahr für die Bediener dar. Daher müssen die Bediener an der Reinigungsstation Sicherheitsvorkehrungen treffen und von einer speziell dafür beauftragte Person angeleitet werden.

B) Es wird empfohlen, das Boot zu zerlegen und bei der Reinigung nur die Graphitteile zu säubern, um alle Kontaktflächen gründlicher reinigen zu können. Viele inländische Hersteller verwenden derzeit eine Komplettreinigung, was zwar praktisch ist, aber da Flusssäure Keramikteile angreift, verkürzt diese die Lebensdauer der betroffenen Teile.