1. Bestätigung vor der Reinigung
1) Wenn diePECVD-GraphitschiffchenWird der Träger mehr als 100 bis 150 Mal verwendet, muss der Bediener den Zustand der Beschichtung rechtzeitig überprüfen. Wenn eine abnormale Beschichtung vorhanden ist, muss diese gereinigt und bestätigt werden. Die normale Beschichtungsfarbe des Siliziumwafers im Graphitschiffchen/-träger ist blau. Wenn der Wafer nicht blau ist, mehrere Farben aufweist oder der Farbunterschied zwischen den Wafern groß ist, handelt es sich um eine abnormale Beschichtung und die Ursache der Anomalie muss rechtzeitig bestätigt werden.
2) Nach dem Prozess analysiert das Personal den Beschichtungszustand desPECVD-Graphitschiffchen/Träger, sie bestimmen, ob das Graphitboot gereinigt werden muss und ob die Kartenspitze ersetzt werden muss, und das zu reinigende Graphitboot/Träger wird dem Gerätepersonal zur Reinigung übergeben.
3) Nach demGraphitboot/Träger beschädigt ist, wird das Produktionspersonal alle Siliziumwafer im Graphitboot herausnehmen und CDA (Druckluft) verwenden, um die Fragmente im Graphitschiff auszusortierenGraphitboot. Nach der Fertigstellung wird es vom Gerätepersonal zur Reinigung in den Säuretank gehoben, der mit einem bestimmten Anteil an HF-Lösung vorbereitet wurde.
2. Reinigung von Graphitbooten
Es wird empfohlen, eine 15–25 %ige Flusssäurelösung für drei Reinigungsrunden zu verwenden, jeweils für 4–5 Stunden, und während des Einweich- und Reinigungsprozesses regelmäßig Stickstoff einzublasen, was etwa eine halbe Stunde Reinigungszeit hinzufügt; Hinweis: Es wird nicht empfohlen, Luft direkt als Gasquelle zum Sprudeln zu verwenden. Spülen Sie das Boot nach dem Beizen etwa 10 Stunden lang mit reinem Wasser ab und vergewissern Sie sich, dass das Boot gründlich gereinigt wurde. Überprüfen Sie nach der Reinigung bitte die Oberfläche des Bootes, die Graphitkartenspitze und die Bootsblechverbindung sowie andere Teile, um festzustellen, ob Siliziumnitridrückstände vorhanden sind. Anschließend entsprechend den Anforderungen trocknen.
3. Vorsichtsmaßnahmen bei der Reinigung
A) Da HF-Säure eine stark ätzende Substanz ist und eine gewisse Flüchtigkeit aufweist, ist sie für Bediener gefährlich. Daher müssen die Bediener an der Reinigungsstelle Sicherheitsvorkehrungen treffen und von einer engagierten Person betreut werden.
B) Es wird empfohlen, das Boot zu zerlegen und während der Reinigung nur den Graphitteil zu reinigen, damit jedes Kontaktteil gründlicher gereinigt werden kann. Derzeit verwenden viele inländische Hersteller eine Gesamtreinigung, was praktisch ist, aber da HF-Säure Keramikteile angreift, verkürzt eine Gesamtreinigung die Lebensdauer der entsprechenden Teile.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 23. Dezember 2024