Mit Siliziumkarbid beschichteter Graphit-Suszeptor für die LED-Ätzung

Kurzbeschreibung:

Der Siliziumkarbid-Suszeptor für das LED-Ätzen (SiC-Tray) ist ein spezielles Zubehör für das tiefe Ätzen von Silizium (ICP-Ätzmaschine). Waferträger, auch Waferträger genannt, Siliziumwaferträger, auch Taschenwafer genannt. Weit verbreitet beim Halbleiter-CVD und Vakuumsputtern.

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Produktdetails

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Der Suszeptor ist mit Siliziumkarbid beschichteta SchlüsselKomponente, die in verschiedenen Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird.Wir verwenden unsere patentierte Technologie, um den mit Siliziumkarbid beschichteten Suszeptor herzustellenextrem hohe Reinheit,GutBeschichtungGleichmäßigkeitund eine hervorragende Lebensdauer, sowiehohe chemische Beständigkeit und thermische Stabilitätseigenschaften.

VET Energy ist Dieechter Hersteller von maßgeschneiderten Graphit- und Siliziumkarbidprodukten mit CVD-Beschichtung,liefern kannverschiedenkundenspezifische Teile für die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie. OUnser technisches Team stammt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann professionellere Materiallösungen anbietenfür dich.

Wir entwickeln kontinuierlich fortschrittliche Prozesse, um fortschrittlichere Materialien bereitzustellen.Undhaben eine exklusive patentierte Technologie entwickelt, die die Verbindung zwischen der Beschichtung und dem Untergrund fester und weniger anfällig für Ablösungen machen kann.

FEigenschaften unserer Produkte:

1. Oxidationsbeständigkeit bei hohen Temperaturen bis 1700℃.
2. Hohe Reinheit undthermische Gleichmäßigkeit
3. Hervorragende Korrosionsbeständigkeit: Säure, Alkali, Salz und organische Reagenzien.
4. Hohe Härte, kompakte Oberfläche, feine Partikel.
5. Längere Lebensdauer und langlebiger

CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundlegende physikalische Eigenschaften von CVD-SiCBeschichtung
性质 / Eigentum	典型数值 / Typischer Wert
晶体结构 / Kristallstruktur	FCC-β-Phase多晶, 主要为（111）取向
密度 / Dichte	3,21 g/cm³
硬度 / Härte	2500 U/min (500 g Ladung)
晶粒大小 / Korngröße	2~10μm
纯度 / Chemische Reinheit	99,99995 %
热容 / Wärmekapazität	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimationstemperatur	2700℃
抗弯强度 / Biegefestigkeit	415 MPa RT 4-Punkt
杨氏模量 / Elastizitätsmodul	430 Gpa 4pt Biegung, 1300℃
导热系数 / ThermalLeitfähigkeit	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Wärmeausdehnung (CTE)	4,5×10^-6K^-1