Anwendung
Graphitschiffchen werden häufig als Waferhalter in Hochtemperatur-Diffusionsprozessen verwendet.
Funktionsanforderungen
1 | Hochtemperaturfestigkeit |
2 | Chemische Stabilität bei hohen Temperaturen |
3 | Kein Partikelproblem |
Beschreibung
1. Angenommen, um die „Farblinsen“-Technologie zu eliminieren und sicherzustellen, dass während des Langzeitprozesses keine „Kololinsen“ verwendet werden.
2. Hergestellt aus SGL-importiertem Graphitmaterial mit hoher Reinheit, geringem Verunreinigungsgehalt und hoher Festigkeit.
3. Verwendung von 99,9 % Keramik für die Keramikbaugruppe mit starker Korrosionsbeständigkeit und Brandschutz.
4. Verwendung der Präzisionsverarbeitungsausrüstung, um die Genauigkeit jedes Teils sicherzustellen.
Warum ist VET Energy besser als andere:
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5. Lange Lebensdauer
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