vet-china præsenterer den innovative Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, en omfattende løsning til avanceret halvlederbehandling. Dette waferhåndteringssystem er designet med omhyggelig præcision og giver uovertruffen stabilitet og justering, hvilket er afgørende for højeffektive produktionsmiljøer.
Vertical Column Wafer Boat & Piedestal er konstrueret med førsteklasses materialer, der garanterer termisk stabilitet og modstandsdygtighed over for kemisk korrosion, hvilket gør den velegnet til de mest krævende halvlederfremstillingsprocesser. Dens unikke lodrette søjledesign understøtter wafere sikkert, hvilket reducerer risikoen for fejljustering og potentiel skade under transport og forarbejdning.
Med integrationen af vet-kinas Vertical Column Wafer Boat & Pedestal kan halvlederproducenter forvente forbedret gennemløb, minimeret nedetid og øget produktudbytte. Dette system er kompatibelt med forskellige waferstørrelser og -konfigurationer, hvilket giver fleksibilitet og skalerbarhed til forskellige produktionsbehov.
vet-kinas forpligtelse til ekspertise sikrer, at hver lodret søjle wafer båd & piedestal opfylder de højeste standarder for kvalitet og ydeevne. Ved at vælge denne banebrydende løsning investerer du i en fremtidssikret tilgang til waferhåndtering, der maksimerer effektivitet og pålidelighed i halvlederfremstilling.
Egenskaber af rekrystalliseret siliciumcarbid
Omkrystalliseret siliciumcarbid (R-SiC) er et højtydende materiale med en hårdhed, der kun er næst efter diamant, som dannes ved en høj temperatur over 2000 ℃. Det bevarer mange fremragende egenskaber af SiC, såsom høj temperaturstyrke, stærk korrosionsbestandighed, fremragende oxidationsbestandighed, god termisk stødbestandighed og så videre.
● Fremragende mekaniske egenskaber. Omkrystalliseret siliciumcarbid har højere styrke og stivhed end kulfiber, høj slagfasthed, kan spille en god ydeevne i ekstreme temperaturmiljøer, kan spille en bedre modvægt i en række situationer. Derudover har den også god fleksibilitet og bliver ikke let beskadiget ved strækning og bøjning, hvilket forbedrer dens ydeevne i høj grad.
● Høj korrosionsbestandighed. Omkrystalliseret siliciumcarbid har høj korrosionsbestandighed over for en række medier, kan forhindre erosion af en række korrosive medier, kan bevare sine mekaniske egenskaber i lang tid, har en stærk vedhæftning, så den har en længere levetid. Derudover har det også god termisk stabilitet, kan tilpasse sig et vist område af temperaturændringer, forbedre dets påføringseffekt.
● Sintring krymper ikke. Fordi sintringsprocessen ikke krymper, vil ingen restspænding forårsage deformation eller revnedannelse af produktet, og dele med komplekse former og høj præcision kan fremstilles.
| 重结晶碳化硅物理特性 Fysiske egenskaber af omkrystalliseret siliciumcarbid | |
| 性质 / Ejendom | 典型数值 / Typisk Værdi |
| 使用温度/ Arbejdstemperatur (°C) | 1600°C (med ilt), 1700°C (reducerende miljø) |
| SiC含量/ SiC indhold | > 99,96 % |
| 自由Si含量/ Gratis Si indhold | < 0,1 % |
| 体积密度/Bulkdensitet | 2,60-2,70 g/cm3 |
| 气孔率/ Tilsyneladende porøsitet | < 16 % |
| 抗压强度/ Kompressionsstyrke | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Koldbøjningsstyrke | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度Varmbøjningsstyrke | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ Termisk ekspansion @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| 导热系数/Termisk ledningsevne @1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ Elastikmodul | 240 GPa |
| 抗热震性/ Termisk stødmodstand | Yderst god |
EUD Energy er deægte producent af tilpassede grafit- og siliciumcarbidprodukter med CVD-belægning,kan levereforskelligetilpassede dele til halvleder- og solcelleindustrien. ODit tekniske team kommer fra top indenlandske forskningsinstitutioner, kan levere mere professionelle materialeløsningerfor dig.
Vi udvikler løbende avancerede processer for at levere mere avancerede materialer,oghar udarbejdet en eksklusiv patenteret teknologi, som kan gøre bindingen mellem belægningen og underlaget tættere og mindre tilbøjelig til at løsne sig.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SiCbelægning | |
| 性质 / Ejendom | 典型数值 / Typisk Værdi |
| 晶体结构 / Krystalstruktur | FCC β-fase多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Tæthed | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hårdhed | 2500 维氏硬度（500g belastning） |
| 晶粒大小 / Kornstørrelse | 2~10μm |
| 纯度 / Kemisk renhed | 99,99995 % |
| 热容 / Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimationstemperatur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Bøjestyrke | 415 MPa RT 4-punkt |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalLedningsevne | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termisk udvidelse (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Hjerteligt velkommen til at besøge vores fabrik, lad os have yderligere diskussion!
