Tønde-susceptor til væskefase-epitaksi LPE
EPI (Epitaxy)er en kritisk proces i fremstillingen af avancerede halvledere. Det involverer aflejring af tynde lag materiale på et substrat for at skabe komplekse enhedsstrukturer. SiC-belagt grafit-tønde-susceptor til EPI bruges almindeligvis som susceptor i EPI-reaktorer på grund af deres fremragende varmeledningsevne og modstandsdygtighed over for høje temperaturer. MedCVD-SiC belægning, bliver det mere modstandsdygtigt over for forurening, erosion og termisk chok. Dette resulterer i en længere levetid for susceptoren og forbedret filmkvalitet.
Fordele ved vores tønde-susceptor til væskefase-epitaksi LPE:
Reduceret forurening:SiC's inerte natur forhindrer urenheder i at klæbe til susceptoroverfladen, hvilket reducerer risikoen for kontaminering af de aflejrede film.
Øget erosionsbestandighed:SiC er væsentligt mere modstandsdygtig over for erosion end konventionel grafit, hvilket fører til en længere levetid for susceptoren.
Forbedret termisk stabilitet:SiC har fremragende varmeledningsevne og kan modstå høje temperaturer uden væsentlig forvrængning.
Forbedret filmkvalitet:Den forbedrede termiske stabilitet og reducerede forurening resulterer i aflejrede film af højere kvalitet med forbedret ensartethed og tykkelseskontrol.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd er en højteknologisk virksomhed med fokus på produktion og salg af avancerede materialer af høj kvalitet, materialer og teknologi, herunder grafit, siliciumcarbid, keramik, overfladebehandling som SiC-belægning, TaC-belægning, glasagtig kulstof belægning, pyrolytisk kulstofbelægning osv., disse produkter er meget udbredt i fotovoltaiske, halvledere, ny energi, metallurgi osv.
Vores tekniske team kommer fra top indenlandske forskningsinstitutioner, og har udviklet flere patenterede teknologier for at sikre produktets ydeevne og kvalitet, kan også give kunderne professionelle materialeløsninger.
Vi byder dig hjertelig velkommen til at besøge vores laboratorium og anlæg til teknisk diskussion og samarbejder!
