Epitaksial Epi Graphite Barrel Susceptor
Epitaksial Epi Graphite Barrel Susceptorer en specialdesignet støtte- og opvarmningsenhed, der bruges til at holde og opvarme halvledersubstrater under fremstillingsprocesser som aflejrings- eller epitaksiprocesser.
Dens struktur omfatter typisk cylindrisk eller let tøndeformet overflade med flere lommer eller platforme til placering af wafere, kan være solidt eller hult design, afhængigt af opvarmningsmetoden.
De vigtigste funktioner af epitaksial tønde susceptor:
-Substratstøtte: holder sikkert flere halvlederskiver;
-Varmekilde: giver høje temperaturer, der kræves for vækst gennem opvarmning;
- Temperaturensartethed: sikrer ensartet opvarmning af underlag;
-Rotation: roterer normalt under vækst for at forbedre temperatur- og gasfordelingens ensartethed.
Arbejdsprincippet for Epi grafit tønde susceptor:
- I den epitaksiale reaktoren opvarmes tøndesusceptoren til den krævede temperatur (typisk 1000℃-1200℃ for siliciumepitaksi);
-Tøndesusceptoren roterer for at sikre ensartet temperaturfordeling og gasflow;
-Reaktionsgasser nedbrydes ved høje temperaturer og danner epitaksiale lag på substratoverfladen.
Ansøgninger:
-Benyttes primært til epitaksial siliciumvækst
- Også anvendelig til epitaksi af andre halvledermaterialer som GaAs, InP osv.
VET Energy bruger højrent grafit med CVD-SiC belægning for at forbedre den kemiske stabilitet:
Fordelene ved VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor:
- Høj temperatur stabilitet;
-God termisk ensartethed;
-Kan behandle flere substrater samtidigt, hvilket forbedrer produktionseffektiviteten;
-Kemisk inert, opretholder et vækstmiljø med høj renhed.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd er en højteknologisk virksomhed med fokus på produktion og salg af avancerede materialer af høj kvalitet, materialer og teknologi, herunder grafit, siliciumcarbid, keramik, overfladebehandling som SiC-belægning, TaC-belægning, glasagtig kulstof belægning, pyrolytisk kulstofbelægning osv., disse produkter er meget udbredt i fotovoltaiske, halvledere, ny energi, metallurgi osv.
Vores tekniske team kommer fra top indenlandske forskningsinstitutioner, og har udviklet flere patenterede teknologier for at sikre produktets ydeevne og kvalitet, kan også give kunderne professionelle materialeløsninger.
Vi byder dig hjertelig velkommen til at besøge vores laboratorium og anlæg til teknisk diskussion og samarbejder!
