Energie odborného vzdělávání a přípravyGrafitový podnos s povlakem z karbidu křemíku, Plate a Cover jsou navrženy tak, aby poskytovaly špičkový výkon a poskytovaly spolehlivý a konzistentní provoz při dlouhodobém používání, což z něj činí základní volbu pro aplikace zpracování waferů v polovodičovém průmyslu. Tento vysoce výkonnýGrafitová deska s povlakem z karbidu křemíkuse může pochlubit výjimečnou tepelnou odolností, vynikající tepelnou rovnoměrností a vynikající chemickou stabilitou, zejména při vysokých teplotách. Jeho vysoce čistá konstrukce ve spojení s pokročilou odolností proti erozi z něj činí nepostradatelný pro náročná prostředí, jako je např.Susceptory MOCVD.
Klíčové vlastnosti grafitového podnosu, desky a krytu s povlakem z karbidu křemíku
1. Vysokoteplotní odolnost proti oxidaci:Odolává teplotám až 1700℃, což mu umožňuje spolehlivě fungovat v extrémních podmínkách.
2. Vysoká čistota a tepelná jednotnost:Konzistentní vysoká čistota a rovnoměrné rozložení tepla jsou klíčové pro aplikace MOCVD.
3. Výjimečná odolnost proti korozi:Odolné vůči kyselinám, zásadám, solím a různým organickým činidlům, zajišťující dlouhodobou stabilitu v různých prostředích.
4. Vysoká tvrdost a kompaktní povrch:Má hustý povrch s jemnými částicemi, zlepšuje celkovou životnost a odolnost proti opotřebení.
5. Prodloužená životnost:Navrženo pro dlouhou životnost, překonávající konvenčnígrafitové susceptory potažené karbidem křemíkuv náročných prostředích pro zpracování polovodičů.
CVD SiC薄膜基本物理性能 Základní fyzikální vlastnosti CVD SiCpovlak | |
性质 / Nemovitosti | 典型数值 / Typická hodnota |
晶体结构 / Krystalová struktura | FCC β fáze多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Hustota | 3,21 g/cm³ |
硬度 / Tvrdost | 2500 维氏硬度(500g náplň) |
晶粒大小 / Velikost zrna | 2~10μm |
纯度 / Chemická čistota | 99,99995 % |
热容 / Tepelná kapacita | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Teplota sublimace | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Pevnost v ohybu | 415 MPa RT 4-bod |
杨氏模量 / Youngův modul | Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
导热系数 / ThermalVodivost | 300W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Tepelná expanze (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Odborné znalosti společnosti VET Energy v oblasti přizpůsobených řešení grafitu a karbidu křemíku
Jako důvěryhodný výrobce se VET Energy specializuje na zakázkově navržené grafitové susceptory a řešení povlaků z karbidu křemíku. Nabízíme řadu produktů na míru pro polovodičový a fotovoltaický průmysl, včetněGrafitové komponenty potažené SiCjako podnosy, talíře a kryty. Naše produktová řada také zahrnuje různé možnosti povrchové úpravy, jako napřSiC povlak pro MOCVD, TaC povlak, skelný uhlíkový povlaka pyrolytický uhlíkový povlak, což zajišťuje, že splníme různé požadavky odvětví špičkových technologií.
Náš zkušený technický tým složený z odborníků špičkových tuzemských výzkumných institucí poskytuje klientům komplexní materiálová řešení. Neustále zdokonalujeme naše pokročilé procesy, včetně exkluzivní patentované technologie, která zlepšuje vazbu mezi povlakem z karbidu křemíku a grafitovým substrátem, snižuje riziko oddělení a dále prodlužuje životnost produktu.
Aplikace a výhody ve výrobě polovodičů
ThePovlak z karbidu křemíku pro MOCVDčiní tyto grafitové susceptory vysoce účinnými ve vysokoteplotním a korozivním prostředí. Tyto susceptory potažené karbidem křemíku, ať už se používají jako nosiče grafitových plátků nebo jiné součásti MOCVD, vykazují vynikající odolnost a výkon. Pro ty, kteří hledají spolehlivá řešení vGrafitový susceptor potažený SiCNa trhu nabízí VET Energy grafitový podnos, deska a kryt potažený karbidem křemíku robustní a všestranné možnosti, které splňují přísné požadavky polovodičového průmyslu.
Zaměřením na pokročilou materiálovou vědu se VET Energy zavázala dodávat vysoce výkonná grafitová řešení s povlakem SiC, která pohánějí inovace v oblasti zpracování polovodičů a zajišťují spolehlivý výkon ve všech aplikacích souvisejících s MOCVD.
VET Energy je skutečným výrobcem přizpůsobených produktů z grafitu a karbidu křemíku s různými povlaky, jako je povlak SiC, povlak TaC, povlak ze skelného uhlíku, povlak pyrolytického uhlíku atd., může dodávat různé přizpůsobené díly pro polovodičový a fotovoltaický průmysl.
Náš technický tým pochází ze špičkových tuzemských výzkumných institucí, dokáže pro vás poskytnout profesionálnější materiálová řešení.
Neustále vyvíjíme pokročilé procesy pro poskytování pokročilejších materiálů a vyvinuli jsme exkluzivní patentovanou technologii, díky které je spojení mezi povlakem a substrátem těsnější a méně náchylné k oddělení.
Srdečně vás vítáme k návštěvě naší továrny, pojďme dále diskutovat!