Графитна тава с покритие от силициев карбид и капак

Кратко описание:

Графитната плоча и капак със силициево-карбидно покритие на VET Energy е продукт с висока производителност, предназначен да осигури постоянна и надеждна работа за продължителен период от време. Има супер добра устойчивост на топлина и топлинна еднородност, висока чистота, устойчивост на ерозия, което го прави идеалното решение за приложения за обработка на вафли.

Изпратете имейл до нас Изтеглете като PDF

Подробности за продукта

Продуктови етикети

ПОО ЕнергияГрафитна тава с покритие от силициев карбид, Plate, and Cover е проектиран да предоставя най-високо ниво на производителност, осигурявайки надеждна и последователна работа при продължителна употреба, което го прави важен избор за приложения за обработка на пластини в полупроводниковата индустрия. Тази висока производителностГрафитна плоча с покритие от силициев карбидможе да се похвали с изключителна устойчивост на топлина, превъзходна термична еднородност и изключителна химическа стабилност, особено при условия на висока температура. Неговата конструкция с висока чистота, съчетана с усъвършенствана устойчивост на ерозия, го прави незаменим за взискателни среди като напр.MOCVD сенцептори.

Основни характеристики на графитната тава, плоча и капак с покритие от силициев карбид

1. Устойчивост на високотемпературно окисление:Издържа на температури до 1700 ℃, което му позволява да работи надеждно при екстремни условия.

2. Висока чистота и термична еднородност:Постоянната висока чистота и равномерното разпределение на топлината са от решаващо значение за MOCVD приложенията.

3. Изключителна устойчивост на корозия:Устойчив на киселини, основи, соли и различни органични реагенти, осигуряващи дълготрайна стабилност в различни среди.

4. Висока твърдост и компактна повърхност:Отличава се с плътна повърхност с фини частици, подобряващи цялостната издръжливост и устойчивост на износване.

5. Удължен експлоатационен живот:Проектиран за дълготрайност, превъзхождащ конвенционалнитеграфитни фиксатори, покрити със силициев карбидв тежки среди за обработка на полупроводници.

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основни физични свойства на CVD SiCпокритие
性质 / Имот	典型数值 / Типична стойност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза多晶，主要为（111) 取向
密度 / Плътност	3,21 g/cm³
硬度 / Твърдост	2500 维氏硬度（500g товар）
晶粒大小 / Размер на зърното	2~10μm
纯度 / Химическа чистота	99,99995%
热容 / Топлинен капацитет	640 J·kg^-1·К^-1
升华温度 / Температура на сублимация	2700 ℃
抗弯强度 / Якост на огъване	415 MPa RT 4-точков
杨氏模量 / Модулът на Йънг	430 Gpa 4pt завой, 1300 ℃
导热系数 / ТермалПроводимост	300W·m^-1·К^-1
热膨胀系数 / Термично разширение (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Експертният опит на VET Energy в персонализирани решения за графит и силициев карбид

Като доверен производител, VET Energy е специализирана в специално проектирани графитни фиксатори и решения за покритие от силициев карбид. Ние предлагаме гама от продукти, пригодени за полупроводниковата и фотоволтаичната промишленост, включителноГрафитни компоненти с SiC покритиекато тави, чинии и капаци. Нашата продуктова гама също включва различни опции за покритие, като напрSiC покритие за MOCVD, TaC покритие, покритие от стъклен карбон, и пиролитично въглеродно покритие, което гарантира, че отговаряме на различните изисквания на високотехнологичните индустрии.

Нашият опитен технически екип, състоящ се от експерти от водещи местни изследователски институции, предоставя цялостни материални решения за клиентите. Ние непрекъснато усъвършенстваме нашите усъвършенствани процеси, включително изключителна патентована технология, която подобрява свързването между покритието от силициев карбид и графитния субстрат, намалявайки риска от отлепване и допълнително удължавайки живота на продукта.

Приложения и ползи в производството на полупроводници

TheПокритие от силициев карбид за MOCVDправи тези графитни фиксатори много ефективни при висока температура, корозивни среди. Независимо дали се използват като носители на графитни пластини или други MOCVD компоненти, тези покрити със силициев карбид фиксатори демонстрират превъзходна издръжливост и производителност. За тези, които търсят надеждни решения вГрафитен ток с покритие от SiCна пазара, покритата със силициев карбид графитна тава, плоча и капак на VET Energy предлагат здрава и гъвкава опция, която отговаря на строгите изисквания на полупроводниковата индустрия.

Фокусирайки се върху напредналата наука за материалите, VET Energy се ангажира да доставя високопроизводителни графитни решения с SiC покритие, които стимулират иновациите в обработката на полупроводници и гарантират надеждна производителност във всички приложения, свързани с MOCVD.

VET Energy е истинският производител на персонализирани продукти от графит и силициев карбид с различни покрития като SiC покритие, TaC покритие, стъкловъглеродно покритие, пиролитично въглеродно покритие и т.н., може да достави различни персонализирани части за полупроводниковата и фотоволтаичната индустрия.

Нашият технически екип идва от водещи местни изследователски институции, може да предостави по-професионални материални решения за вас.

Ние непрекъснато разработваме усъвършенствани процеси, за да осигурим по-усъвършенствани материали и разработихме изключителна патентована технология, която може да направи връзката между покритието и субстрата по-плътна и по-малко податлива на отделяне.

Горещо ви приветстваме да посетите нашата фабрика, нека да обсъдим допълнително!