vet-china ṣafihan imotuntun Inaro Ọwọn Wafer Boat & Pedestal, ojutu pipe fun sisẹ semikondokito to ti ni ilọsiwaju. Ti a ṣe apẹrẹ pẹlu konge titọ, eto mimu wafer yii n pese iduroṣinṣin ti ko baamu ati titete, pataki fun awọn agbegbe iṣelọpọ iṣẹ ṣiṣe giga.
Ọkọ oju-omi ti o wa ni inaro Wafer & Pedestal jẹ ti a ṣe pẹlu awọn ohun elo Ere ti o ṣe iṣeduro iduroṣinṣin gbona ati resistance si ipata kemikali, ti o jẹ ki o dara fun awọn ilana iṣelọpọ semikondokito ti o nbeere julọ. Apẹrẹ ọwọn inaro alailẹgbẹ rẹ ṣe atilẹyin awọn wafer ni aabo, idinku eewu aiṣedeede ati ibajẹ ti o pọju lakoko gbigbe ati sisẹ.
Pẹlu iṣọpọ ti vet-china's Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, awọn aṣelọpọ semikondokito le nireti imudara ilọsiwaju, akoko idinku, ati ikore ọja pọ si. Eto yii jẹ ibaramu pẹlu ọpọlọpọ awọn iwọn wafer ati awọn atunto, nfunni ni irọrun ati iwọn fun awọn iwulo iṣelọpọ oriṣiriṣi.
vet-china ká ifaramo si iperegede idaniloju wipe kọọkan Vertical Column Wafer Boat & Pedestal pàdé awọn ga awọn ajohunše ti didara ati iṣẹ. Nipa yiyan ojutu gige-eti yii, o ṣe idoko-owo ni ọna ẹri-ọjọ iwaju si mimu wafer ti o mu ṣiṣe ati igbẹkẹle pọ si ni iṣelọpọ semikondokito.
Awọn ohun-ini ti ohun alumọni carbide recrystallized
Carbide silikoni ti a tunṣe (R-SiC) jẹ ohun elo iṣẹ ṣiṣe giga pẹlu líle keji nikan si diamond, eyiti o ṣẹda ni iwọn otutu giga ju 2000 ℃. O ṣe idaduro ọpọlọpọ awọn ohun-ini ti o dara julọ ti SiC, gẹgẹbi agbara iwọn otutu ti o ga, ipata ipata, resistance ifoyina ti o dara julọ, resistance mọnamọna gbona ti o dara ati bẹbẹ lọ.
● Awọn ohun-ini ẹrọ ti o dara julọ. Awọn ohun alumọni ohun alumọni ti a tunṣe ni agbara ti o ga julọ ati lile ju okun erogba lọ, resistance resistance ti o ga, le ṣe iṣẹ ṣiṣe ti o dara ni awọn agbegbe iwọn otutu to gaju, le mu iṣẹ ṣiṣe counterbalance ti o dara julọ ni awọn ipo pupọ. Ni afikun, o tun ni irọrun ti o dara ati pe ko ni rọọrun bajẹ nipasẹ sisọ ati titọ, eyiti o mu iṣẹ rẹ pọ si.
● Idaabobo ipata giga. Awọn ohun alumọni ohun alumọni Recrystallized ni o ni agbara ipata giga si ọpọlọpọ awọn media, le ṣe idiwọ ogbara ti ọpọlọpọ awọn media ibajẹ, le ṣetọju awọn ohun-ini ẹrọ rẹ fun igba pipẹ, ni ifaramọ to lagbara, nitorinaa o ni igbesi aye iṣẹ to gun. Ni afikun, o tun ni iduroṣinṣin igbona to dara, le ṣe deede si iwọn awọn iyipada iwọn otutu, mu ipa ohun elo rẹ dara.
● Ṣíṣekúṣe kì í dín kù. Nitoripe ilana isunmọ ko dinku, ko si aapọn aloku yoo fa ibajẹ tabi fifọ ọja naa, ati awọn ẹya ti o ni awọn apẹrẹ ti o nipọn ati pipe to gaju ni a le pese.
| 重结晶碳化硅物理特性 Awọn ohun-ini ti ara ti Silicon Carbide Recrystallized | |
| 性质 / Ohun ini | 典型数值 / Aṣoju Iye |
| 使用温度/ Iwọn otutu iṣẹ (°C) | 1600°C (pẹlu atẹgun), 1700°C (idinku ayika) |
| SiC含量/ SiC akoonu | > 99.96% |
| 自由Si含量/ Free Si akoonu | <0.1% |
| 体积密度/Olopobobo iwuwo | 2,60-2,70 g / cm3 |
| 气孔率/ Han porosity | <16% |
| 抗压强度/ Agbara titẹ | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Agbara atunse tutu | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度Gbona atunse agbara | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ Gbona imugboroosi @ 1500 ° C | 4.70 10-6/°C |
| 导热系数/Gbona elekitiriki @1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ Rirọ modulu | 240 GPA |
| 抗热震性/ Gbona mọnamọna resistance | O dara pupọ |
Agbara VET jẹ awọnolupese gidi ti graphite ti adani ati awọn ọja ohun alumọni carbide pẹlu ibora CVD,le peseorisirisiawọn ẹya adani fun semikondokito ati ile-iṣẹ fọtovoltaic. OẸgbẹ imọ-ẹrọ ur wa lati awọn ile-iṣẹ iwadii ile ti o ga julọ, le pese awọn solusan ohun elo alamọdaju diẹ siifun e.
A ṣe idagbasoke awọn ilana ilọsiwaju nigbagbogbo lati pese awọn ohun elo ilọsiwaju diẹ sii,atiti ṣiṣẹ imọ-ẹrọ itọsi iyasọtọ, eyiti o le jẹ ki isunmọ laarin ibora ati sobusitireti ṣinṣin ati ki o kere si isọkuro.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Awọn ohun-ini ti ara ipilẹ ti CVD SiCti a bo | |
| 性质 / Ohun ini | 典型数值 / Aṣoju Iye |
| 晶体结构 / Crystal Be | FCC β ipele多晶，主要为（111)取向 |
| 密度 / iwuwo | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / Lile | 2500 维氏硬度 (ẹrù 500g) |
| 晶粒大小 / Ọkà SiZe | 2 ~ 10μm |
| 纯度 / Kemikali ti nw | 99.99995% |
| 热容 / Ooru Agbara | 640 · kg-1· K-1 |
| 升华温度 / Sublimation otutu | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Agbara Flexural | 415 MPa RT 4-ojuami |
| 杨氏模量 / Young's Modul | 430 Gpa 4pt tẹ, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ThermalIwa ihuwasi | 300W·m-1· K-1 |
| 热膨胀系数 / Imugboroosi Gbona (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Fifẹ gba ọ lati ṣabẹwo si ile-iṣẹ wa, jẹ ki a ni ijiroro siwaju!
