vet-china ṣafihan ipo-ti-ti-ti-aworan Contiguous Wafer Boat ti a ṣe fun iran atẹle ti iṣelọpọ semikondokito. Ọkọ oju-omi kekere ti a ṣe apẹrẹ ti o funni ni pipe ti ko lẹgbẹ ni mimu wafer, ni idaniloju awọn iṣẹ ailẹgbẹ ati dinku eewu ti ibajẹ lakoko sisẹ.
Ti a ṣe pẹlu awọn ohun elo ti o ga julọ, Contiguous Wafer Boat ṣogo iduroṣinṣin igbona ti o dara julọ ati resistance kemikali alailẹgbẹ, ti o jẹ ki o jẹ apẹrẹ fun iwọn otutu giga ati awọn agbegbe kemikali lile. Apẹrẹ tuntun rẹ ṣe idaniloju pe awọn wafers ti wa ni idaduro ni aabo ati ni ibamu ni pipe, iṣapeye igbejade ati jijẹ ṣiṣe iṣelọpọ.
Ọkọ oju omi wafer gige-eti yii jẹ apẹrẹ lati pade awọn iwulo ibeere ti awọn ile-iṣẹ semikondokito ode oni, ṣe atilẹyin awọn titobi wafer lọpọlọpọ ati awọn atunto. Nipa iṣakojọpọ Contiguous Wafer Boat lati vet-china sinu laini iṣelọpọ rẹ, o le nireti iṣẹ imudara, akoko idinku, ati awọn oṣuwọn ikore pọ si.
Ni iriri iyatọ pẹlu ifaramo vet-china si didara ati ĭdàsĭlẹ, jiṣẹ awọn ọja ti o titari awọn aala ti iṣelọpọ semikondokito. Yan Ọkọ Wafer Contiguous ki o gbe awọn agbara sisẹ wafer rẹ ga si awọn giga tuntun.
Awọn ohun-ini ti ohun alumọni carbide recrystallized
Carbide silikoni ti a tunṣe (R-SiC) jẹ ohun elo iṣẹ ṣiṣe giga pẹlu líle keji nikan si diamond, eyiti o ṣẹda ni iwọn otutu giga ju 2000 ℃. O ṣe idaduro ọpọlọpọ awọn ohun-ini ti o dara julọ ti SiC, gẹgẹbi agbara iwọn otutu ti o ga, ipata ipata, resistance ifoyina ti o dara julọ, resistance mọnamọna gbona ti o dara ati bẹbẹ lọ.
● Awọn ohun-ini ẹrọ ti o dara julọ. Awọn ohun alumọni ohun alumọni ti a tunṣe ni agbara ti o ga julọ ati lile ju okun erogba lọ, resistance resistance ti o ga, le ṣe iṣẹ ṣiṣe ti o dara ni awọn agbegbe iwọn otutu to gaju, le mu iṣẹ ṣiṣe counterbalance ti o dara julọ ni awọn ipo pupọ. Ni afikun, o tun ni irọrun ti o dara ati pe ko ni rọọrun bajẹ nipasẹ sisọ ati titọ, eyiti o mu iṣẹ rẹ pọ si.
● Idaabobo ipata giga. Awọn ohun alumọni ohun alumọni Recrystallized ni o ni agbara ipata giga si ọpọlọpọ awọn media, le ṣe idiwọ ogbara ti ọpọlọpọ awọn media ibajẹ, le ṣetọju awọn ohun-ini ẹrọ rẹ fun igba pipẹ, ni ifaramọ to lagbara, nitorinaa o ni igbesi aye iṣẹ to gun. Ni afikun, o tun ni iduroṣinṣin igbona to dara, le ṣe deede si iwọn awọn iyipada iwọn otutu, mu ipa ohun elo rẹ dara.
● Ṣíṣekúṣe kì í dín kù. Nitoripe ilana isunmọ ko dinku, ko si aapọn aloku yoo fa ibajẹ tabi fifọ ọja naa, ati awọn ẹya ti o ni awọn apẹrẹ ti o nipọn ati pipe to gaju ni a le pese.
| 重结晶碳化硅物理特性 Awọn ohun-ini ti ara ti Silicon Carbide Recrystallized | |
| 性质 / Ohun ini | 典型数值 / Aṣoju Iye |
| 使用温度/ Iwọn otutu iṣẹ (°C) | 1600°C (pẹlu atẹgun), 1700°C (idinku ayika) |
| SiC含量/ SiC akoonu | > 99.96% |
| 自由Si含量/ Free Si akoonu | <0.1% |
| 体积密度/Olopobobo iwuwo | 2,60-2,70 g / cm3 |
| 气孔率/ Han porosity | <16% |
| 抗压强度/ Agbara titẹ | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Agbara atunse tutu | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度Gbona atunse agbara | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ Gbona imugboroosi @ 1500 ° C | 4.70 10-6/°C |
| 导热系数/Gbona elekitiriki @1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ Rirọ modulu | 240 GPA |
| 抗热震性/ Gbona mọnamọna resistance | O dara pupọ |
Agbara VET jẹ awọnolupese gidi ti graphite ti adani ati awọn ọja ohun alumọni carbide pẹlu ibora CVD,le peseorisirisiawọn ẹya adani fun semikondokito ati ile-iṣẹ fọtovoltaic. OẸgbẹ imọ-ẹrọ ur wa lati awọn ile-iṣẹ iwadii ile ti o ga julọ, le pese awọn solusan ohun elo alamọdaju diẹ siifun e.
A ṣe idagbasoke awọn ilana ilọsiwaju nigbagbogbo lati pese awọn ohun elo ilọsiwaju diẹ sii,atiti ṣiṣẹ imọ-ẹrọ itọsi iyasọtọ, eyiti o le jẹ ki isunmọ laarin ibora ati sobusitireti ṣinṣin ati ki o kere si isọkuro.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Awọn ohun-ini ti ara ipilẹ ti CVD SiCti a bo | |
| 性质 / Ohun ini | 典型数值 / Aṣoju Iye |
| 晶体结构 / Crystal Be | FCC β ipele多晶，主要为（111)取向 |
| 密度 / iwuwo | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / Lile | 2500 维氏硬度 (ẹrù 500g) |
| 晶粒大小 / Ọkà SiZe | 2 ~ 10μm |
| 纯度 / Kemikali ti nw | 99.99995% |
| 热容 / Ooru Agbara | 640 · kg-1· K-1 |
| 升华温度 / Sublimation otutu | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Agbara Flexural | 415 MPa RT 4-ojuami |
| 杨氏模量 / Young's Modul | 430 Gpa 4pt tẹ, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ThermalIwa ihuwasi | 300W·m-1· K-1 |
| 热膨胀系数 / Imugboroosi Gbona (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Fifẹ gba ọ lati ṣabẹwo si ile-iṣẹ wa, jẹ ki a ni ijiroro siwaju!
