VET Energy GaN lori Silicon Wafer jẹ ojutu semikondokito gige-eti ti a ṣe apẹrẹ pataki fun awọn ohun elo igbohunsafẹfẹ redio (RF). Nipa dagba gallium nitride ti o ni agbara giga (GaN) lori sobusitireti ohun alumọni kan, VET Energy n pese idiyele-doko ati pẹpẹ iṣẹ ṣiṣe giga fun ọpọlọpọ awọn ẹrọ RF.
GaN yii lori ohun alumọni Silicon jẹ ibaramu pẹlu awọn ohun elo miiran bii Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, ati Sobusitireti SiN, ti n pọ si iṣiṣẹpọ rẹ fun ọpọlọpọ awọn ilana iṣelọpọ. Ni afikun, o jẹ iṣapeye fun lilo pẹlu Epi Wafer ati awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju bi Gallium Oxide Ga2O3 ati AlN Wafer, eyiti o tun mu awọn ohun elo rẹ pọ si ni awọn ẹrọ itanna agbara giga. Awọn wafers jẹ apẹrẹ fun isọpọ ailopin sinu awọn eto iṣelọpọ nipa lilo mimu kasẹti boṣewa fun irọrun lilo ati ṣiṣe iṣelọpọ pọ si.
Agbara VET nfunni ni akojọpọ okeerẹ ti awọn sobusitireti semikondokito, pẹlu Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, Gallium Oxide Ga2O3, ati AlN Wafer. Laini ọja oniruuru n ṣakiyesi awọn iwulo ti ọpọlọpọ awọn ohun elo itanna, lati ẹrọ itanna agbara si RF ati optoelectronics.
GaN lori Silicon Wafer nfunni ni ọpọlọpọ awọn anfani fun awọn ohun elo RF:
• Išẹ-igbohunsafẹfẹ giga:GaN jakejado bandgap ati arinbo elekitironi giga jẹ ki iṣẹ-igbohunsafẹfẹ giga jẹ ki o jẹ apẹrẹ fun 5G ati awọn eto ibaraẹnisọrọ iyara giga miiran.
• Iwọn agbara giga:Awọn ẹrọ GaN le mu awọn iwuwo agbara ti o ga julọ ni akawe si awọn ẹrọ ti o da lori ohun alumọni, ti o yori si iwapọ diẹ sii ati awọn eto RF ti o munadoko.
Lilo agbara kekere:Awọn ẹrọ GaN ṣe afihan agbara agbara kekere, ti o mu ilọsiwaju si imudara agbara ati idinku ooru dinku.
Awọn ohun elo:
• Ibaraẹnisọrọ alailowaya 5G:GaN lori Silicon wafers jẹ pataki fun kikọ awọn ibudo ipilẹ 5G ti o ga julọ ati awọn ẹrọ alagbeka.
• Awọn ọna ṣiṣe Reda:Awọn amplifiers RF ti o da lori GaN ni a lo ninu awọn eto radar fun ṣiṣe giga wọn ati bandiwidi jakejado.
• Ibaraẹnisọrọ satẹlaiti:Awọn ẹrọ GaN jẹ ki agbara-giga ati awọn ọna ṣiṣe ibaraẹnisọrọ satẹlaiti igbohunsafẹfẹ giga.
• Awọn ẹrọ itanna ologun:Awọn paati RF ti o da lori GaN ni a lo ninu awọn ohun elo ologun gẹgẹbi ogun itanna ati awọn eto radar.
Agbara VET nfunni GaN isọdi lori awọn wafers Silicon lati pade awọn ibeere rẹ pato, pẹlu oriṣiriṣi awọn ipele doping, sisanra, ati awọn iwọn wafer. Ẹgbẹ iwé wa n pese atilẹyin imọ-ẹrọ ati iṣẹ lẹhin-tita lati rii daju aṣeyọri rẹ.
WAFERING ni pato
*n-Pm=n-iru Pm-Grade,n-Ps=n-iru Ps-Grade,Sl=Ogbede-lnsulating
Nkan | 8-inch | 6-inch | 4-inch | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Teriba(GF3YFCD) -Iye pipe | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV (SBIR) -10mmx10mm | <2μm | ||||
Wafer eti | Beveling |
Ipari dada
*n-Pm=n-iru Pm-Grade,n-Ps=n-iru Ps-Grade,Sl=Ogbede-lnsulating
Nkan | 8-inch | 6-inch | 4-inch | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Dada Ipari | Polish Optical ẹgbẹ meji, Si- Face CMP | ||||
SurfaceRoughness | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Awọn eerun eti | Ko si Gbigbanilaaye (ipari ati iwọn≥0.5mm) | ||||
Indents | Ko Si Iyọọda | ||||
Awọn idọti (Si-Face) | Qty.≤5, Akopọ | Qty.≤5, Akopọ | Qty.≤5, Akopọ | ||
Awọn dojuijako | Ko Si Iyọọda | ||||
Iyasoto eti | 3mm |