Tấm và nắp khay than chì phủ silicon cacbua

Tấm và nắp khay phủ than chì silic cacbua Hình ảnh nổi bật

Mô tả ngắn gọn:

Tấm và vỏ than chì phủ cacbua silicon VET Energy là sản phẩm hiệu suất cao được thiết kế để mang lại hiệu suất ổn định và đáng tin cậy trong thời gian dài. Nó có khả năng chịu nhiệt siêu tốt và độ đồng đều nhiệt, độ tinh khiết cao, khả năng chống xói mòn, khiến nó trở thành giải pháp hoàn hảo cho các ứng dụng xử lý wafer.

Gửi email cho chúng tôi Tải xuống dưới dạng PDF

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Năng lượng VETKhay than chì phủ silicon cacbua, Plate và Cover được thiết kế để mang lại hiệu suất cao nhất, mang lại khả năng vận hành ổn định và đáng tin cậy khi sử dụng kéo dài, khiến nó trở thành lựa chọn thiết yếu cho các ứng dụng xử lý tấm bán dẫn trong ngành bán dẫn. Hiệu suất cao nàyTấm than chì phủ silicon cacbuatự hào có khả năng chịu nhiệt đặc biệt, độ đồng đều nhiệt vượt trội và độ ổn định hóa học vượt trội, đặc biệt trong điều kiện nhiệt độ cao. Cấu trúc có độ tinh khiết cao, cùng với khả năng chống xói mòn tiên tiến, khiến nó không thể thiếu trong các môi trường đòi hỏi khắt khe nhưnhạy cảm với MOCVD.

Các tính năng chính của khay, tấm và nắp than chì phủ silicon cacbua

1. Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao:Chịu được nhiệt độ lên tới 1700oC, cho phép nó hoạt động đáng tin cậy trong điều kiện khắc nghiệt.

2. Độ tinh khiết cao và độ đồng đều nhiệt:Độ tinh khiết cao nhất quán và phân phối nhiệt đều là rất quan trọng đối với các ứng dụng MOCVD.

3. Khả năng chống ăn mòn vượt trội:Chịu được axit, kiềm, muối và các thuốc thử hữu cơ khác nhau, đảm bảo độ ổn định lâu dài trong các môi trường khác nhau.

4. Độ cứng cao và bề mặt nhỏ gọn:Có bề mặt dày đặc với các hạt mịn, cải thiện độ bền tổng thể và khả năng chống mài mòn.

5. Tuổi thọ kéo dài:Được thiết kế để có tuổi thọ cao, vượt trội so với thông thườngchất nhạy cảm than chì được phủ cacbua silictrong môi trường xử lý chất bán dẫn khắc nghiệt.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Tính chất vật lý cơ bản của CVD SiClớp phủ
性质 / Tài sản	典型数值 / Giá trị điển hình
晶体结构 / Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC多晶, 主要为（111)取向
密度 / Tỉ trọng	3,21 g/cm³
硬度 / Độ cứng	2500 维氏硬度(tải 500g)
晶粒大小 / Kích thước hạt	2 ~ 10μm
纯度 / Độ tinh khiết hóa học	99,99995%
热容 / Công suất nhiệt	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Nhiệt độ thăng hoa	2700oC
抗弯强度 / Độ bền uốn	415 MPa RT 4 điểm
杨氏模量 / Mô đun của Young	Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC
导热系数 / NhiệttôiĐộ dẫn điện	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Giãn nở nhiệt(CTE)	4,5×10^-6K^-1

Chuyên môn của VET Energy về các giải pháp than chì và cacbua silic tùy chỉnh

Là nhà sản xuất đáng tin cậy, VET Energy chuyên về các chất nhạy cảm than chì được thiết kế tùy chỉnh và các giải pháp phủ cacbua silic. Chúng tôi cung cấp nhiều loại sản phẩm phù hợp cho ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện, bao gồmCác thành phần than chì phủ SiCnhư khay, đĩa và nắp. Dòng sản phẩm của chúng tôi cũng bao gồm các tùy chọn lớp phủ đa dạng, chẳng hạn nhưLớp phủ SiC cho MOCVD, lớp phủ TaC, lớp phủ carbon thủy tinhvà lớp phủ cacbon nhiệt phân, đảm bảo chúng tôi đáp ứng các nhu cầu khác nhau của các ngành công nghệ cao.

Đội ngũ kỹ thuật giàu kinh nghiệm của chúng tôi bao gồm các chuyên gia từ các tổ chức nghiên cứu hàng đầu trong nước, cung cấp các giải pháp vật liệu toàn diện cho khách hàng. Chúng tôi liên tục cải tiến các quy trình tiên tiến của mình, bao gồm công nghệ được cấp bằng sáng chế độc quyền giúp tăng cường liên kết giữa lớp phủ cacbua silic và chất nền than chì, giảm nguy cơ bong tróc và kéo dài tuổi thọ của sản phẩm hơn nữa.

Ứng dụng và lợi ích trong sản xuất chất bán dẫn

cácLớp phủ silicon cacbua cho MOCVDlàm cho các chất nhạy cảm than chì này có hiệu quả cao trong môi trường ăn mòn, nhiệt độ cao. Cho dù được sử dụng làm chất mang tấm than chì hay các thành phần MOCVD khác, những bộ phận cảm ứng được phủ cacbua silic này đều thể hiện độ bền và hiệu suất vượt trội. Đối với những người tìm kiếm giải pháp đáng tin cậy trongChất nhạy cảm than chì được phủ SiCthị trường, khay, tấm và vỏ than chì phủ cacbua silic của VET Energy mang đến một lựa chọn mạnh mẽ và linh hoạt, đáp ứng nhu cầu khắt khe của ngành bán dẫn.

Bằng cách tập trung vào khoa học vật liệu tiên tiến, VET Energy cam kết cung cấp các giải pháp than chì phủ SiC hiệu suất cao nhằm thúc đẩy sự đổi mới trong xử lý chất bán dẫn và đảm bảo hiệu suất đáng tin cậy trong tất cả các ứng dụng liên quan đến MOCVD.

VET Energy là nhà sản xuất thực sự các sản phẩm than chì và cacbua silic tùy chỉnh với các lớp phủ khác nhau như lớp phủ SiC, lớp phủ TaC, lớp phủ carbon thủy tinh, lớp phủ carbon nhiệt phân, v.v., có thể cung cấp các bộ phận tùy chỉnh khác nhau cho ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện.

Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các tổ chức nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn cho bạn.

Chúng tôi liên tục phát triển các quy trình tiên tiến để cung cấp các vật liệu tiên tiến hơn và đã phát triển một công nghệ được cấp bằng sáng chế độc quyền, có thể làm cho liên kết giữa lớp phủ và chất nền chặt chẽ hơn và ít bị bong ra hơn.

Nhiệt liệt chào mừng bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi, chúng ta hãy thảo luận thêm!