Lớp phủ SiC Graphite MOCVD Chất mang wafer Chất nhạy cảm

Mô tả ngắn gọn:

Chất nhạy cảm MOCVD phủ phủ VET Energy SiC để tăng trưởng epiticular là sản phẩm hiệu suất cao được thiết kế để mang lại hiệu suất ổn định và đáng tin cậy trong thời gian dài. Nó có khả năng chịu nhiệt siêu tốt và độ đồng đều nhiệt, độ tinh khiết cao, khả năng chống xói mòn, khiến nó trở thành giải pháp hoàn hảo cho các ứng dụng xử lý wafer.

Gửi email cho chúng tôi Tải xuống dưới dạng PDF

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Chất mang/chất cảm thụ wafer phủ SiC than chì MOCVD

Tất cả các chất nhạy cảm của chúng tôi đều được làm bằng than chì đẳng tĩnh có độ bền cao. Hưởng lợi từ độ tinh khiết cao của than chì của chúng tôi - được phát triển đặc biệt cho các quy trình đầy thách thức như epitaxy, nuôi cấy tinh thể, cấy ion và khắc plasma, cũng như để sản xuất chip LED.

Các tính năng của sản phẩm của chúng tôi:

1. Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao lên tới 1700oC.
2. Độ tinh khiết cao và độ đồng đều nhiệt
3. Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời: thuốc thử axit, kiềm, muối và hữu cơ.
4. Độ cứng cao, bề mặt nhỏ gọn, hạt mịn.
5. Tuổi thọ dài hơn và bền hơn

CVD SiC薄膜基本物理性能 Tính chất vật lý cơ bản của CVD SiClớp phủ
性质 / Tài sản	典型数值 / Giá trị điển hình
晶体结构 / Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC多晶, 主要为（111)取向
密度 / Tỉ trọng	3,21 g/cm³
硬度 / Độ cứng	2500 维氏硬度(tải 500g)
晶粒大小 / Kích thước hạt	2 ~ 10μm
纯度 / Độ tinh khiết hóa học	99,99995%
热容 / Công suất nhiệt	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Nhiệt độ thăng hoa	2700oC
抗弯强度 / Độ bền uốn	415 MPa RT 4 điểm
杨氏模量 / Mô đun của Young	Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC
导热系数 / NhiệttôiĐộ dẫn điện	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Giãn nở nhiệt(CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy là nhà sản xuất thực sự các sản phẩm than chì và cacbua silic tùy chỉnh với các lớp phủ khác nhau như lớp phủ SiC, lớp phủ TaC, lớp phủ carbon thủy tinh, lớp phủ carbon nhiệt phân, v.v., có thể cung cấp các bộ phận tùy chỉnh khác nhau cho ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện.

Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các tổ chức nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn cho bạn.

Chúng tôi liên tục phát triển các quy trình tiên tiến để cung cấp các vật liệu tiên tiến hơn và đã phát triển một công nghệ được cấp bằng sáng chế độc quyền, có thể làm cho liên kết giữa lớp phủ và chất nền chặt chẽ hơn và ít bị bong ra hơn.

Nhiệt liệt chào mừng bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi, chúng ta hãy thảo luận thêm!