Làm thế nào để làm sạch thuyền than chì PECVD？| Năng lượng VET

1. Xác nhận trước khi làm sạch

1) KhiThuyền than chì PECVD/carrier được sử dụng hơn 100 đến 150 lần, người vận hành cần kiểm tra tình trạng lớp phủ kịp thời. Nếu có lớp phủ bất thường, nó cần được làm sạch và xác nhận. Màu phủ thông thường của tấm bán dẫn silicon trong thuyền/vật mang than chì là màu xanh lam. Nếu tấm wafer không có màu xanh, nhiều màu hoặc độ chênh lệch màu giữa các tấm wafer lớn thì đó là lớp phủ bất thường và nguyên nhân của sự bất thường cần được xác nhận kịp thời.
2) Sau khi nhân viên xử lý phân tích tình trạng lớp phủ củaThuyền than chì PECVD/vận chuyển, họ sẽ xác định xem thuyền than chì có cần được làm sạch hay không và có cần thay thế điểm thẻ hay không, thuyền/vận chuyển than chì cần được làm sạch sẽ được giao cho nhân viên thiết bị để làm sạch.

 

3) Sau khithuyền than chì/carrier bị hư hỏng, nhân viên sản xuất sẽ lấy toàn bộ tấm silicon trong thuyền than chì ra và sử dụng CDA (khí nén) để phân loại các mảnh vụn trongthuyền than chì. Sau khi hoàn thiện, nhân viên thiết bị sẽ nhấc lên thùng axit đã được chuẩn bị sẵn một tỷ lệ dung dịch HF nhất định để làm sạch.

 

2. Làm sạch thuyền than chì

Nên sử dụng dung dịch axit flohydric 15-25% cho ba đợt làm sạch, mỗi lần 4-5 giờ và sục khí nitơ định kỳ trong quá trình ngâm và làm sạch, thêm khoảng nửa giờ làm sạch; lưu ý: không nên sử dụng không khí trực tiếp làm nguồn khí tạo bọt. Sau khi ngâm, rửa sạch bằng nước tinh khiết trong khoảng 10 giờ và xác nhận rằng thuyền đã được làm sạch hoàn toàn. Sau khi làm sạch, vui lòng kiểm tra bề mặt của thuyền, điểm thẻ than chì và mối nối tấm thuyền và các bộ phận khác để xem có cặn silicon nitride hay không. Sau đó sấy khô theo yêu cầu.

3. Biện pháp phòng ngừa khi vệ sinh

A) Vì axit HF là chất có tính ăn mòn cao và có độ bay hơi nhất định nên rất nguy hiểm cho người vận hành. Vì vậy, người vận hành tại điểm vệ sinh phải có biện pháp phòng ngừa an toàn và được quản lý bởi người tận tâm.

B) Nên tháo rời thuyền và chỉ làm sạch phần than chì trong quá trình vệ sinh, để mỗi bộ phận tiếp xúc có thể được làm sạch kỹ lưỡng hơn. Hiện nay, nhiều nhà sản xuất trong nước sử dụng phương pháp làm sạch tổng thể, rất tiện lợi, nhưng do axit HF ăn mòn các bộ phận bằng gốm nên việc làm sạch tổng thể sẽ rút ngắn tuổi thọ của các bộ phận tương ứng.