Vật liệu được ưu tiên cho các bộ phận chính xác của máy quang khắc Trong lĩnh vực bán dẫn, vật liệu gốm cacbua silic chủ yếu được sử dụng trong các thiết bị chính để sản xuất mạch tích hợp, chẳng hạn như bàn làm việc cacbua silic, ray dẫn hướng, gương phản xạ, mâm cặp hút bằng gốm, cánh tay, g...
Đọc thêm