Các chức năng chính củathuyền cacbua silichỗ trợ và hỗ trợ thuyền thạch anh đều giống nhau.Thuyền cacbua silichỗ trợ có hiệu suất tuyệt vời nhưng giá cao. Nó tạo thành mối quan hệ thay thế với sự hỗ trợ của thuyền thạch anh trong thiết bị xử lý pin có điều kiện làm việc khắc nghiệt (chẳng hạn như thiết bị LPCVD và thiết bị khuếch tán boron). Trong các thiết bị xử lý pin có điều kiện làm việc bình thường, do mối quan hệ về giá, cacbua silic và thuyền thạch anh trở thành các loại cùng tồn tại và cạnh tranh.
① Mối quan hệ thay thế trong LPCVD và thiết bị khuếch tán boron
Thiết bị LPCVD được sử dụng cho quá trình oxy hóa đường hầm tế bào pin và quá trình chuẩn bị lớp polysilicon pha tạp. Nguyên tắc làm việc:
Trong môi trường áp suất thấp, kết hợp với nhiệt độ thích hợp, phản ứng hóa học và hình thành màng lắng đọng sẽ đạt được để chuẩn bị lớp oxit chui hầm siêu mỏng và màng polysilicon. Trong quá trình chuẩn bị lớp polysilicon pha tạp và oxy hóa đường hầm, giá đỡ thuyền có nhiệt độ làm việc cao và một màng silicon sẽ lắng đọng trên bề mặt. Hệ số giãn nở nhiệt của thạch anh khá khác so với silicon. Khi sử dụng trong quy trình trên, cần thường xuyên gắp và loại bỏ silicon lắng đọng trên bề mặt để tránh trường hợp giá đỡ thuyền thạch anh bị gãy do giãn nở nhiệt và co lại do hệ số giãn nở nhiệt khác với silicon. Do tẩy rửa thường xuyên và độ bền nhiệt độ cao thấp, giá đỡ thuyền thạch anh có tuổi thọ ngắn và thường xuyên được thay thế trong quá trình chuẩn bị lớp oxy hóa đường hầm và pha tạp polysilicon, điều này làm tăng đáng kể chi phí sản xuất pin. Hệ số giãn nở củacacbua silicgần giống với silicon. Sự tích hợpthuyền cacbua silicGiá đỡ không yêu cầu tẩy trong quá trình oxy hóa đường hầm và quá trình chuẩn bị lớp polysilicon pha tạp. Nó có độ bền nhiệt độ cao và tuổi thọ dài. Nó là một sự thay thế tốt cho giá đỡ thuyền thạch anh.
Thiết bị mở rộng Boron chủ yếu được sử dụng cho quá trình pha tạp các nguyên tố boron trên đế wafer silicon loại N của pin để chuẩn bị bộ phát loại P tạo thành điểm nối PN. Nguyên lý làm việc là thực hiện phản ứng hóa học và hình thành màng lắng đọng phân tử trong môi trường nhiệt độ cao. Sau khi màng được hình thành, nó có thể được khuếch tán bằng cách nung ở nhiệt độ cao để nhận ra chức năng pha tạp của bề mặt tấm wafer silicon. Do nhiệt độ làm việc cao của thiết bị giãn nở boron, giá đỡ thuyền thạch anh có độ bền nhiệt độ cao thấp và tuổi thọ ngắn trong thiết bị giãn nở boron. Sự tích hợpthuyền cacbua silicGiá đỡ có độ bền nhiệt độ cao và là sự thay thế tốt cho giá đỡ thuyền thạch anh trong quá trình giãn nở boron.
② Mối quan hệ thay thế trong các thiết bị xử lý khác
Giá đỡ thuyền SiC có năng lực sản xuất chặt chẽ và hiệu suất tuyệt vời. Giá của chúng thường cao hơn so với giá đỡ thuyền thạch anh. Trong điều kiện làm việc chung của thiết bị xử lý tế bào, sự khác biệt về tuổi thọ sử dụng giữa giá đỡ thuyền SiC và giá đỡ thuyền thạch anh là nhỏ. Khách hàng hạ nguồn chủ yếu so sánh và lựa chọn giữa giá cả và hiệu suất dựa trên quy trình và nhu cầu của riêng họ. Giá đỡ thuyền SiC và giá đỡ thuyền thạch anh đã trở nên cùng tồn tại và cạnh tranh. Tuy nhiên, tỷ suất lợi nhuận gộp của mảng hỗ trợ thuyền SiC hiện nay tương đối cao. Với việc chi phí sản xuất khung đỡ thuyền SiC giảm, nếu giá bán khung đỡ thuyền SiC tích cực giảm thì điều đó cũng sẽ tạo ra khả năng cạnh tranh lớn hơn đối với các khung đỡ thuyền thạch anh.
Tỷ lệ sử dụng
Lộ trình công nghệ tế bào chủ yếu là công nghệ PERC và công nghệ TOPCon. Thị phần của công nghệ PERC là 88% và thị phần của công nghệ TOPCon là 8,3%. Thị phần kết hợp của cả hai là 96,30%.
Như thể hiện trong hình dưới đây:
Trong công nghệ PERC, cần có giá đỡ thuyền cho quá trình khuếch tán và ủ phốt pho phía trước. Trong công nghệ TOPCon, cần có giá đỡ thuyền cho quá trình khuếch tán boron phía trước, LPCVD, khuếch tán phốt pho phía sau và quá trình ủ. Hiện tại, giá đỡ thuyền bằng cacbua silic chủ yếu được sử dụng trong quy trình LPCVD của công nghệ TOPCon và ứng dụng của chúng trong quy trình khuếch tán boron chủ yếu đã được xác minh.
Hình Ứng dụng giá đỡ thuyền trong quá trình xử lý tế bào
Lưu ý: Sau lớp phủ trước và sau của công nghệ PERC và TOPCon, vẫn còn các liên kết như in lụa, thiêu kết, thử nghiệm và phân loại, không liên quan đến việc sử dụng giá đỡ thuyền và không được liệt kê trong hình trên.
Thời gian đăng: Oct-15-2024