Lớp phủ sic là gì?

Cacbua siliclà một hợp chất cứng chứa silicon và carbon, và được tìm thấy trong tự nhiên dưới dạng khoáng vật moissanite cực kỳ quý hiếm. Các hạt cacbua silic có thể được liên kết với nhau bằng cách thiêu kết để tạo thành gốm rất cứng, được sử dụng rộng rãi trong các ứng dụng đòi hỏi độ bền cao, đặc biệt là trong xử lý chất bán dẫn.

Cấu trúc vật lý của SiC

Lớp phủ SiC là lớp phủ silicon cacbua dày đặc, chống mài mòn với khả năng chống ăn mòn và chịu nhiệt cao cũng như tính dẫn nhiệt tuyệt vời. Lớp phủ SiC có độ tinh khiết cao này chủ yếu được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn và điện tử để bảo vệ các chất mang bán dẫn, bazơ và các bộ phận làm nóng khỏi môi trường ăn mòn và phản ứng. Lớp phủ SiC cũng thích hợp cho lò chân không và gia nhiệt mẫu trong môi trường chân không, phản ứng và oxy cao.

Bề mặt phủ SiC có độ tinh khiết cao

Quá trình phủ SiC là gì?

Một lớp mỏng cacbua silic được lắng đọng trên bề mặt chất nền bằng cách sử dụngCVD (Lắng đọng hơi hóa học). Quá trình lắng đọng thường được thực hiện ở nhiệt độ 1200-1300°C và đặc tính giãn nở nhiệt của vật liệu nền phải tương thích với lớp phủ SiC để giảm thiểu ứng suất nhiệt.

CẤU TRÚC TINH THỂ PHIM CVD SIC

CẤU TRÚC TINH THỂ PHIM phủ CVD SIC

Các tính chất vật lý của lớp phủ SiC chủ yếu được thể hiện ở khả năng chịu nhiệt độ cao, độ cứng, khả năng chống ăn mòn và tính dẫn nhiệt.

Các thông số vật lý điển hình thường như sau:

độ cứng: Lớp phủ SiC thường có Độ cứng Vickers trong khoảng 2000-2500 HV, giúp chúng có khả năng chống mài mòn và va đập cực cao trong các ứng dụng công nghiệp.

Tỉ trọng: Lớp phủ SiC thường có mật độ 3,1-3,2 g/cm³. Mật độ cao góp phần vào độ bền cơ học và độ bền của lớp phủ.

Độ dẫn nhiệt: Lớp phủ SiC có độ dẫn nhiệt cao, thường ở khoảng 120-200 W/mK (ở 20°C). Điều này mang lại cho nó tính dẫn nhiệt tốt trong môi trường nhiệt độ cao và khiến nó đặc biệt thích hợp cho các thiết bị xử lý nhiệt trong ngành bán dẫn.

điểm nóng chảy: cacbua silic có điểm nóng chảy khoảng 2730°C và có độ ổn định nhiệt tuyệt vời ở nhiệt độ khắc nghiệt.

Hệ số giãn nở nhiệt: Lớp phủ SiC có hệ số giãn nở nhiệt tuyến tính (CTE) thấp, thường nằm trong khoảng 4,0-4,5 µm/mK (trong khoảng 25-1000oC). Điều này có nghĩa là độ ổn định kích thước của nó là tuyệt vời khi có sự chênh lệch nhiệt độ lớn.

Chống ăn mòn: Lớp phủ SiC có khả năng chống ăn mòn cực cao trong môi trường axit, kiềm và oxy hóa mạnh, đặc biệt khi sử dụng axit mạnh (như HF hoặc HCl), khả năng chống ăn mòn của chúng vượt xa các vật liệu kim loại thông thường.

Lớp phủ SiC có thể được áp dụng cho các vật liệu sau:

Than chì đẳng tĩnh có độ tinh khiết cao (CTE thấp)
vonfram
Molypden
Cacbua silic
Silicon Nitrua
Vật liệu tổng hợp cacbon-cacbon (CFC)

Sản phẩm phủ SiC được sử dụng phổ biến trong các lĩnh vực sau:

Sản xuất chip LED
Sản xuất polysilicon
Chất bán dẫntăng trưởng tinh thể
Silicon vàepitaxy SiC
Xử lý nhiệt và khắc wafer

Tại sao chọn VET Energy?

VET Energy là nhà sản xuất, cải tiến và dẫn đầu các sản phẩm phủ SiC tại Trung Quốc, các sản phẩm phủ SiC chính bao gồmchất mang wafer với lớp phủ SiC, phủ SiCchất nhạy cảm epitaxy, Vòng than chì phủ SiC, Các bộ phận nửa vầng trăng có lớp phủ SiC, Hỗn hợp cacbon-cacbon phủ SiC, Thuyền wafer phủ SiC, Lò sưởi phủ SiC, v.v. VET Energy cam kết cung cấp cho ngành công nghiệp bán dẫn các giải pháp sản phẩm và công nghệ tối ưu, đồng thời hỗ trợ các dịch vụ tùy chỉnh. Chúng tôi chân thành mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.