Вафельний човен із вертикальною колоною та постамент

Вафельний човник і постамент із вертикальною колоною. Представлене зображення

Короткий опис:

Вафельний човен і п’єдестал із вертикальною колонкою від vet-china забезпечує чудову стабільність і точність у роботі з пластинами для виробництва напівпровідників. Завдяки вдосконаленій конструкції vet-china ця система забезпечує оптимальне вирівнювання та надійне утримання, підвищуючи ефективність роботи та зменшуючи пошкодження пластин.

Надішліть нам електронний лист Завантажити як PDF

Деталі продукту

Теги товарів

vet-china представляє інноваційну вертикальну колонну Wafer Boat & Pedestal, комплексне рішення для передової обробки напівпровідників. Розроблена з ретельною точністю, ця система обробки пластин забезпечує неперевершену стабільність і вирівнювання, що має вирішальне значення для високоефективного виробничого середовища.

Вафельний човен і п’єдестал із вертикальною колоною виготовлено з матеріалів преміум-класу, які гарантують термічну стабільність і стійкість до хімічної корозії, що робить його придатним для найвимогливіших процесів виготовлення напівпровідників. Його унікальна конструкція вертикальної колони надійно підтримує пластини, зменшуючи ризик зміщення та потенційного пошкодження під час транспортування та обробки.

Завдяки інтеграції Vertical Column Wafer Boat & Pedestal від vet-china виробники напівпровідників можуть розраховувати на покращену пропускну здатність, мінімізацію часу простою та збільшення виходу продукції. Ця система сумісна з пластинами різних розмірів і конфігурацій, пропонуючи гнучкість і масштабованість для різних виробничих потреб.

Прагнення vet-china до досконалості гарантує, що кожен вафельний човен і п’єдестал з вертикальною колоною відповідають найвищим стандартам якості та продуктивності. Вибираючи це передове рішення, ви інвестуєте в перспективний підхід до роботи з пластинами, який максимізує ефективність і надійність у виробництві напівпровідників.

Вафельний човен із вертикальною колоною та постамент

Властивості перекристаллізованого карбіду кремнію

Перекристалізований карбід кремнію (R-SiC) є високоефективним матеріалом, твердість якого поступається лише алмазу, який утворюється при високій температурі понад 2000 ℃. Він зберігає багато чудових властивостей SiC, таких як високотемпературна міцність, сильна стійкість до корозії, чудова стійкість до окислення, хороша стійкість до термічного удару тощо.

● Відмінні механічні властивості. Перекристалізований карбід кремнію має вищу міцність і жорсткість, ніж вуглецеве волокно, високу ударостійкість, може добре працювати в екстремальних температурах, може грати кращу противагу в різних ситуаціях. Крім того, він також має хорошу гнучкість і його нелегко пошкодити при розтягуванні та згинанні, що значно покращує його продуктивність.

● Висока стійкість до корозії. Перекристалізований карбід кремнію має високу корозійну стійкість до різноманітних середовищ, може запобігати ерозії різноманітних корозійних середовищ, може зберігати свої механічні властивості протягом тривалого часу, має міцну адгезію, так що він має довший термін служби. Крім того, він також має гарну термічну стабільність, може адаптуватися до певного діапазону змін температури, покращує ефект його застосування.

● Спікання не дає усадки. Оскільки в процесі спікання не відбувається усадки, залишкова напруга не спричинить деформації або розтріскування продукту, і можна підготувати деталі складної форми та високої точності.

重结晶碳化硅物理特性 Фізичні властивості перекристалізованого карбіду кремнію
性质 / Власність	典型数值 / Типове значення
使用温度/ Робоча температура (°C)	1600°C (з киснем), 1700°C (відновне середовище)
SiC含量/ Вміст SiC	> 99,96%
自由Si含量/ Вільний вміст Si	< 0,1%
体积密度/Насипна щільність	2,60-2,70 г/см³
气孔率/ Уявна пористість	< 16%
抗压强度/ Міцність на стиск	> 600МПа
常温抗弯强度/Міцність на холодний вигин	80-90 МПа (20°C)
高温抗弯强度Міцність на гарячий вигин	90-100 МПа (1400°C)
热膨胀系数/ Теплове розширення @1500°C	4,70 10^-6/°C
导热系数/Теплопровідність @1200°C	23Вт/м•К
杨氏模量/ Модуль пружності	240 ГПа
抗热震性/ Стійкість до термічних ударів	Надзвичайно добре

ПТО Енергія є всправжній виробник індивідуальних виробів із графіту та карбіду кремнію з покриттям CVD,може постачатирізнііндивідуальні частини для напівпровідникової та фотоелектричної промисловості. OНаша технічна команда походить від провідних вітчизняних науково-дослідних установ, може надати більш професійні матеріальні рішеннядля вас.

Ми постійно розробляємо передові процеси, щоб забезпечити більш досконалі матеріали,ірозробили ексклюзивну запатентовану технологію, яка може зробити з’єднання між покриттям і основою більш міцним і менш схильним до відшарування.

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основні фізичні властивості CVD SiCпокриття
性质 / Власність	典型数值 / Типове значення
晶体结构 / Кристалічна структура	FCC β фаза多晶，主要为（111）取向
密度 / Щільність	3,21 г/см³
硬度 / Твердість	2500 维氏硬度 (завантаження 500 г)
晶粒大小 / Розмір зерна	2~10 мкм
纯度 / Хімічна чистота	99,99995%
热容 / Теплоємність	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура сублімації	2700 ℃
抗弯强度 / Міцність на вигин	415 МПа RT 4-точковий
杨氏模量 / Модуль Юнга	430 Gpa 4pt вигин, 1300 ℃
导热系数 / Термалпровідність	300 Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / Теплове розширення (CTE)	4,5×10^-6K^-1