Графітовий носій/суцептор із покриттям SiC

Короткий опис:

VET Energy Graphite Carrite/Susceptor з покриттям SiC — це високоефективний продукт, розроблений для стабільної та надійної роботи протягом тривалого періоду часу.Він має надвисоку термостійкість і термічну однорідність, високу чистоту, стійкість до ерозії, що робить його ідеальним рішенням для обробки пластин.

 


Деталі продукту

Теги товарів

Suscetpor з покриттям SiC є ключовим компонентом, який використовується в різних процесах виробництва напівпровідників.Ми використовуємо нашу запатентовану технологію, щоб виготовити Suscetpor з покриттям SiC з надзвичайно високою чистотою, хорошою рівномірністю покриття та чудовим терміном служби, а також з високою хімічною стійкістю та термостабільністю.

Особливості нашої продукції:

1. Стійкість до високотемпературного окислення до 1700 ℃.
2. Висока чистота та теплова однорідність
3. Чудова стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.
4. Висока твердість, компактна поверхня, дрібні частинки.
5. Довший термін служби та міцніший

перевізник2 перевізник4

носій1 носій3

 

ССЗ SiC薄膜基本物理性能

Основні фізичні властивості CVD SiCпокриття

性质 / Власність

典型数值 / Типове значення

晶体结构 / Кристалічна структура

FCC β фаза多晶,主要为(111)取向

密度 / Щільність

3,21 г/см³

硬度 / Твердість

2500 维氏硬度 (завантаження 500 г)

晶粒大小 / Розмір зерна

2~10 мкм

纯度 / Хімічна чистота

99,99995%

热容 / Теплоємність

640 Дж·кг-1·К-1

升华温度 / Температура сублімації

2700 ℃

抗弯强度 / Сила гнучкості

415 МПа RT 4-точковий

杨氏模量 / Модуль Юнга

430 Gpa 4pt вигин, 1300 ℃

导热系数 / Термалпровідність

300 Вт·м-1·К-1

热膨胀系数 / Теплове розширення (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Щиро вітаємо вас відвідати нашу фабрику, давайте обговоримо далі!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Попередній:
  • далі:

  • Онлайн-чат WhatsApp!