Переваги обробки LMJ
Властиві дефекти звичайної лазерної обробки можна подолати шляхом розумного використання лазерної мікроструменевої технології (LMJ) для поширення оптичних характеристик води та повітря. Ця технологія дозволяє лазерним імпульсам, які повністю відбиваються в обробленому струмені води високої чистоти, безперешкодно досягати поверхні обробки, як у оптичному волокні. З точки зору використання основні характеристики технології LMJ наступні:
1. Лазерний промінь являє собою стовпчасту (паралельну) структуру.
2. Лазерний імпульс передається у струмені води, як оптичне волокно, яке захищене від будь-яких перешкод навколишнього середовища.
3. Лазерний промінь фокусується в обладнанні LMJ, і немає жодних змін у висоті обробленої поверхні протягом усього процесу обробки, тому немає необхідності постійно фокусуватися зі зміною глибини обробки під час процесу обробки.
4. На додаток до абляції матеріалу заготовки під час кожного лазерного імпульсу, приблизно 99% часу в кожній одиниці часу від початку кожного імпульсу до наступного імпульсу, оброблений матеріал охолоджується в режимі реального часу. води, при цьому майже стирається зона термічного впливу і шар переплаву, але зберігається висока ефективність обробки.
5. Продовжуйте очищати оброблену поверхню.
Загальна специфікація | LCSA-100 | LCSA-200 |
Обсяг стільниці | 125 х 200 х 100 | 460×460×300 |
Лінійна вісь XY | Лінійний двигун. Лінійний двигун | Лінійний двигун. Лінійний двигун |
Лінійна вісь Z | 100 | 300 |
Точність позиціонування мкм | +/- 5 | +/- 3 |
Повторна точність позиціонування мкм | +/- 2 | +/- 1 |
Прискорення Г | 0,5 | 1 |
Числове керування | 3-осьовий | 3-осьовий |
Laser |
|
|
Тип лазера | DPSS Nd: YAG | DPSS Nd: YAG, імпульс |
Довжина хвилі нм | 532/1064 | 532/1064 |
Номінальна потужність Вт | 50/100/200 | 200/400 |
Струмінь води |
|
|
Діаметр сопла мкм | 25-80 | 25-80 |
Тиск форсунки бар | 100-600 | 0-600 |
Розмір/вага |
|
|
Розміри (машина) (Ш x Д x В) | 1050 x 800 x 1870 | 1200 x 1200 x 2000 |
Розміри (шафа управління) (Ш x Д x В) | 700 x 2300 x 1600 | 700 x 2300 x 1600 |
Вага (комплектація) кг | 1170 | 2500-3000 |
Вага (шафа керування) кг | 700-750 | 700-750 |
Комплексне споживання енергії |
|
|
Input | 230 В змінного струму +6%/-10%, односпрямований 50/60 Гц ±1% | Змінний струм 400 В +6%/-10%, 3-фазний 50/60 Гц ±1% |
Пікове значення | 2,5 кВА | 2,5 кВА |
Jойн | Кабель живлення 10 м: P+N+E, 1,5 мм2 | Кабель живлення 10 м: P+N+E, 1,5 мм2 |
Діапазон застосування користувачів напівпровідникової промисловості | ≤4 дюйма круглий злиток ≤4 дюйми скибочки зливка ≤4 дюйма
| ≤6 дюймів круглий злиток ≤6 дюймів скибочки зливка ≤6 дюймів Машина відповідає теоретичному значенню 8-дюймового круглого/нарізного/нарізного скибочками, і для конкретних практичних результатів необхідно оптимізувати стратегію різання |