Стволовий токоприймач для рідкофазної епітаксії LPE

Стволозахват для рідкофазної епітаксії LPE

EPI (епітаксія)є критично важливим процесом у виробництві передових напівпровідників. Він передбачає нанесення тонких шарів матеріалу на підкладку для створення складних структур пристрою. Токоприймачі з графітовим покриттям SiC для EPI зазвичай використовуються як токоприймачі в реакторах EPI завдяки їхній чудовій теплопровідності та стійкості до високих температур. сCVD-SiC покриття, він стає більш стійким до забруднення, ерозії та термічного удару. Це призводить до довшого терміну служби сприймача та покращення якості плівки.

Переваги нашого бочкоприймача для рідкофазної епітаксії LPE:
Зменшене забруднення:Інертний характер SiC запобігає прилипання домішок до поверхні чутливого елемента, зменшуючи ризик забруднення нанесених плівок.
Підвищена стійкість до ерозії:SiC є значно стійкішим до ерозії, ніж звичайний графіт, що призводить до довшого терміну служби токоприймача.
Покращена термічна стабільність:SiC має відмінну теплопровідність і може витримувати високі температури без значних спотворень.
Покращена якість плівки:Покращена термічна стабільність і зменшення забруднення призводять до отримання нанесених плівок вищої якості з покращеним контролем однорідності та товщини.