vet-china นำเสนอนวัตกรรม Vertical Column Wafer Boat & Pedestal ซึ่งเป็นโซลูชั่นที่ครอบคลุมสำหรับการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง ออกแบบด้วยความแม่นยำอย่างพิถีพิถัน ระบบการจัดการเวเฟอร์นี้ให้ความเสถียรและการจัดตำแหน่งที่ไม่มีใครเทียบได้ ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญสำหรับสภาพแวดล้อมการผลิตที่มีประสิทธิภาพสูง
เรือเวเฟอร์และแท่นแนวตั้งสร้างขึ้นด้วยวัสดุระดับพรีเมียมที่รับประกันความเสถียรทางความร้อนและความต้านทานต่อการกัดกร่อนของสารเคมี ทำให้เหมาะสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความต้องการมากที่สุด การออกแบบคอลัมน์แนวตั้งที่เป็นเอกลักษณ์รองรับเวเฟอร์อย่างปลอดภัย ลดความเสี่ยงของการเยื้องศูนย์และความเสียหายที่อาจเกิดขึ้นระหว่างการขนส่งและการประมวลผล
ด้วยการบูรณาการเรือและแท่นเวเฟอร์คอลัมน์แนวตั้งของ vet-china ผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์สามารถคาดหวังปริมาณงานที่ดีขึ้น ลดเวลาหยุดทำงานให้เหลือน้อยที่สุด และเพิ่มผลผลิตของผลิตภัณฑ์ ระบบนี้เข้ากันได้กับเวเฟอร์ขนาดและการกำหนดค่าต่างๆ โดยให้ความยืดหยุ่นและความสามารถในการปรับขนาดสำหรับความต้องการในการผลิตที่แตกต่างกัน
ความมุ่งมั่นสู่ความเป็นเลิศของ vet-china ทำให้มั่นใจได้ว่าเรือและแท่นเวเฟอร์คอลัมน์แนวตั้งแต่ละลำมีคุณสมบัติตรงตามมาตรฐานคุณภาพและประสิทธิภาพสูงสุด เมื่อเลือกโซลูชันที่ล้ำสมัยนี้ คุณจะลงทุนในแนวทางที่รองรับอนาคตในการจัดการแผ่นเวเฟอร์ ซึ่งจะเพิ่มประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือสูงสุดในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
คุณสมบัติของซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ตกผลึกซ้ำ
ซิลิกอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่ (R-SiC) เป็นวัสดุประสิทธิภาพสูงที่มีความแข็งเป็นอันดับสองรองจากเพชร ซึ่งก่อตัวขึ้นที่อุณหภูมิสูงกว่า 2000°C ยังคงรักษาคุณสมบัติที่ดีเยี่ยมหลายประการของ SiC เช่น ความแข็งแรงที่อุณหภูมิสูง ความต้านทานการกัดกร่อนที่แข็งแกร่ง ความต้านทานการเกิดออกซิเดชันที่ดีเยี่ยม ความต้านทานการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว และอื่นๆ
● คุณสมบัติทางกลที่ดีเยี่ยม ซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ตกผลึกใหม่มีความแข็งแรงและความแข็งสูงกว่าคาร์บอนไฟเบอร์ ทนต่อแรงกระแทกสูง สามารถแสดงประสิทธิภาพที่ดีในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง สามารถแสดงประสิทธิภาพการถ่วงดุลที่ดีกว่าในสถานการณ์ต่างๆ นอกจากนี้ยังมีความยืดหยุ่นที่ดีและไม่เสียหายง่ายจากการยืดและงอ ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพได้อย่างมาก
● ทนต่อการกัดกร่อนสูง ซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ตกผลึกซ้ำมีความต้านทานการกัดกร่อนสูงต่อตัวกลางหลากหลายชนิด สามารถป้องกันการกัดเซาะของตัวกลางที่มีฤทธิ์กัดกร่อนได้หลากหลาย สามารถรักษาคุณสมบัติทางกลได้เป็นเวลานาน มีการยึดเกาะที่แข็งแกร่ง เพื่อให้มีอายุการใช้งานนานขึ้น นอกจากนี้ยังมีความเสถียรทางความร้อนที่ดี สามารถปรับให้เข้ากับการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิในช่วงหนึ่ง ปรับปรุงผลการใช้งาน
● การเผาผนึกไม่หดตัว เนื่องจากกระบวนการเผาผนึกไม่หดตัว จึงไม่มีความเค้นตกค้างจะทำให้ผลิตภัณฑ์เสียรูปหรือแตกร้าว และสามารถเตรียมชิ้นส่วนที่มีรูปร่างซับซ้อนและมีความแม่นยำสูงได้
| 重结晶碳化硅物理特性 คุณสมบัติทางกายภาพของซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่ | |
| 性质 / คุณสมบัติ | 典型数值 / ค่าทั่วไป |
| 使用温度/ อุณหภูมิในการทำงาน (°C) | 1600°C (พร้อมออกซิเจน), 1700°C (ลดสภาพแวดล้อม) |
| ซิซี含量/ เนื้อหา SiC | > 99.96% |
| 自由ศรี含量/เนื้อหาศรีฟรี | <0.1% |
| 体积密度/ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม | 2.60-2.70 ก./ซม3 |
| 气孔率/ มีลักษณะพรุนอย่างเห็นได้ชัด | < 16% |
| 抗压强度/แรงอัด | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/แรงดัดงอเย็น | 80-90 เมกะปาสคาล (20°ซ) |
| 高温抗弯强度แรงดัดงอร้อน | 90-100 เมกะปาสคาล (1,400°C) |
| 热膨胀系数/ การขยายตัวทางความร้อนที่ 1500°C | 4.70 10-6/°ซ |
| 导热系数/การนำความร้อนที่ 1200°C | 23W/ม•เค |
| 杨氏模量/ โมดูลัสยืดหยุ่น | 240 เกรดเฉลี่ย |
| 抗热震性/ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อน | ดีมาก |
เวท พลังงาน คือ ที่ผู้ผลิตผลิตภัณฑ์กราไฟท์และซิลิกอนคาร์ไบด์แบบกำหนดเองอย่างแท้จริงพร้อมการเคลือบ CVDสามารถจัดหาได้หลากหลายชิ้นส่วนที่กำหนดเองสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ Oทีมเทคนิคของคุณมาจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ สามารถจัดหาโซลูชั่นวัสดุที่เป็นมืออาชีพมากขึ้นสำหรับคุณ.
เราพัฒนากระบวนการขั้นสูงอย่างต่อเนื่องเพื่อจัดหาวัสดุขั้นสูงมากขึ้นและได้พัฒนาเทคโนโลยีที่ได้รับการจดสิทธิบัตรเฉพาะ ซึ่งสามารถทำให้เกิดการยึดเกาะระหว่างสารเคลือบและพื้นผิวได้แน่นขึ้น และมีแนวโน้มที่จะหลุดออกน้อยลง
| ซีวีดี SiC薄膜基本物理性能 คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของ CVD SiCการเคลือบ | |
| 性质 / คุณสมบัติ | 典型数值 / ค่าทั่วไป |
| 晶体结构 /โครงสร้างคริสตัล | เฟส FCC β多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / ความหนาแน่น | 3.21 ก./ซม.³ |
| 硬度 /ความแข็ง | 2,500 กระป๋อง (โหลด 500 กรัม) |
| 晶粒大小 / เมล็ดข้าว SiZe | 2~10ไมโครเมตร |
| 纯度 / ความบริสุทธิ์ของสารเคมี | 99.99995% |
| 热容 /ความจุความร้อน | 640 เจ·กก-1·เค-1 |
| 升华温度 /อุณหภูมิระเหิด | 2,700 ℃ |
| 抗弯强度 / แรงดัดงอ | 415 MPa RT 4 จุด |
| 杨氏模量 / โมดูลัสของยัง | 430 Gpa 4pt โค้งงอ 1300 ℃ |
| 导热系数 / เธอร์มาลการนำไฟฟ้า | 300W·ม-1·เค-1 |
| 热膨胀系数 / การขยายตัวทางความร้อน(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
ยินดีต้อนรับคุณอย่างอบอุ่นเพื่อเยี่ยมชมโรงงานของเรา มาพูดคุยกันเพิ่มเติม!
