Fördelar med LMJ-bearbetning
De inneboende defekterna med vanlig laserbehandling kan övervinnas genom smart användning av laser Laser Micro Jet (LMJ) teknologi för att sprida de optiska egenskaperna hos vatten och luft. Denna teknik gör att laserpulserna helt reflekteras i den bearbetade vattenstrålen med hög renhet på ett ostört sätt att nå bearbetningsytan som i optisk fiber. Ur användningsperspektivet är LMJ-teknikens huvudsakliga egenskaper följande:
1. Laserstrålen är en kolumnär (parallell) struktur.
2. Laserpulsen sänds i vattenstrålen som optisk fiber, som är skyddad från miljöstörningar.
3. Laserstrålen är fokuserad i LMJ-utrustningen, och det finns ingen förändring i höjden på den bearbetade ytan under hela bearbetningsprocessen, så att det inte finns något behov av att kontinuerligt fokusera med förändringen av bearbetningsdjupet under bearbetningsprocessen.
4. Förutom att ablationen av arbetsstyckets material skedde under varje laserpuls, cirka 99 % av tiden i varje enskild tidsenhet från början av varje puls till nästa puls, är det bearbetade materialet i realtidskylning av vatten, vilket nästan raderar den värmepåverkade zonen och omsmältningsskiktet, men bibehåller den höga effektiviteten i bearbetningen.
5.Fortsätt att rengöra den bearbetade ytan.
Allmän specifikation | LCSA-100 | LCSA-200 |
Bänkskiva volym | 125 x 200 x 100 | 460×460×300 |
Linjär axel XY | Linjär motor. Linjär motor | Linjär motor. Linjär motor |
Linjär axel Z | 100 | 300 |
Positioneringsnoggrannhet μm | +/- 5 | + / - 3 |
Upprepad positioneringsnoggrannhet μm | + / - 2 | + / - 1 |
Acceleration G | 0,5 | 1 |
Numerisk kontroll | 3-axlig | 3-axlig |
Laser |
|
|
Laser typ | DPSS Nd: YAG | DPSS Nd: YAG, puls |
Våglängd nm | 532/1064 | 532/1064 |
Märkeffekt W | 50/100/200 | 200/400 |
Vattenstråle |
|
|
Munstycksdiameter μm | 25-80 | 25-80 |
Munstyckstryckstav | 100-600 | 0-600 |
Storlek/vikt |
|
|
Mått (maskin) (B x L x H) | 1050 x 800 x 1870 | 1200 x 1200 x 2000 |
Mått (styrskåp) (B x L x H) | 700 x 2300 x 1600 | 700 x 2300 x 1600 |
Vikt (utrustning) kg | 1170 | 2500-3000 |
Vikt (kontrollskåp) kg | 700-750 | 700-750 |
Omfattande energiförbrukning |
|
|
Input | AC 230 V +6%/ -10%, enkelriktad 50/60 Hz ±1% | AC 400 V +6%/-10%, 3-fas 50/60 Hz ±1% |
Högsta värde | 2,5kVA | 2,5kVA |
Join | 10 m strömkabel: P+N+E, 1,5 mm2 | 10 m strömkabel: P+N+E, 1,5 mm2 |
Användarapplikationsområde för halvledarindustrin | ≤4 tum runt göt ≤4 tums götskivor ≤4 tums göt-ritning
| ≤6 tum runt göt ≤6 tums götskivor ≤6 tums götritning Maskinen uppfyller det 8-tums cirkulära/skiva/skiva teoretiska värdet, och de specifika praktiska resultaten måste optimeras skärstrategin |