SiC-belagd suscetpor är en nyckelkomponent som används i olika halvledartillverkningsprocesser.Vi använder vår patenterade teknologi för att göra den SiC-belagda suscetporen med extremt hög renhet, god beläggningslikformighet och en utmärkt livslängd, samt hög kemisk beständighet och termiska stabilitetsegenskaper.
Funktioner hos våra produkter:
1. Högtemperaturoxidationsbeständighet upp till 1700 ℃.
2. Hög renhet och termisk enhetlighet
3. Utmärkt korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.
4. Hög hårdhet, kompakt yta, fina partiklar.
5. Längre livslängd och mer hållbar
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundläggande fysikaliska egenskaper hos CVD SiCbeläggning | |
| 性质 / Fast egendom | 典型数值 / Typiskt värde |
| 晶体结构 / Kristallstruktur | FCC β-fas多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Densitet | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hårdhet | 2500 维氏硬度（500g last） |
| 晶粒大小 / Kornstorlek | 2~10μm |
| 纯度 / Kemisk renhet | 99,99995 % |
| 热容 / Värmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimeringstemperatur | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Böjhållfasthet | 415 MPa RT 4-punkts |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt böj, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalLedningsförmåga | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termisk expansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera vidare!
