vet-china e netefatsa hore e 'ngoe le e' ngoe e tšoarellaSilicon Carbide Wafer Handling Paddlee na le ts'ebetso e ntle haholo le e tšoarellang. Sebaka sena sa silicon carbide safer handling paddle se sebelisa mekhoa e tsoetseng pele ea tlhahiso ho netefatsa hore sebopeho sa eona se tsitsitseng le ts'ebetso li lula li le maemong a mocheso a phahameng le a lik'hemik'hale tse senyang lik'hemik'hale. Moralo ona o mocha o fana ka ts'ehetso e ntle haholo bakeng sa ho sebetsana le semiconductor wafer, haholo-holo bakeng sa ts'ebetso ea othomathiki e nepahetseng haholo.
SiC Cantilever Paddleke karolo e ikhethileng e sebelisoang lisebelisoa tsa tlhahiso ea semiconductor joalo ka sebopi sa oxidation, sebōpi sa diffusion, le sebōpi sa annealing, ts'ebeliso ea mantlha ke ho kenya le ho laolla liphaephe, ho ts'ehetsa le ho tsamaisa liphaphatha nakong ea ts'ebetso ea mocheso o phahameng.
Mehaho e tloaelehilengeaSiCcantileverptlatseletsa: mohaho oa cantilever, o tsitsitseng pheletsong e 'ngoe' me o lokolohile ho e 'ngoe, hangata o na le moralo o bataletseng le o kang oa paddle.
Ho sebetsaprincipleeaSiCcantileverptlatseletsa:
Sekepe sa cantilever se ka ea holimo le tlase kapa ka morao le pele ka har'a kamore ea sebōpi, se ka sebelisoa ho tlosa li-wafers ho tloha libakeng tsa ho laela ho ea libakeng tsa ho sebetsa, kapa ho tsoa libakeng tsa ho sebetsa, ho tšehetsa le ho tsitsisa li-wafers nakong ea mocheso o phahameng oa mocheso.
Thepa ea 'mele ea Recrystallized Silicon Carbide | |
Thepa | Boleng bo Tlwaelehileng |
Mocheso oa ho sebetsa (°C) | 1600°C (ka oksijene), 1700°C (ho fokotsa tikoloho) |
Likahare tsa SiC | 99.96% |
Free Si content | <0.1% |
Boima ba bongata | 2.60-2.70 g/cm3 |
porosity e bonahalang | <16% |
Matla a ho hatella | > 600 MPa |
Matla a ho kobeha a batang | 80-90 MPa (20°C) |
Matla a ho kobeha a chesang | 90-100 MPa (1400°C) |
Katoloso ea mocheso @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Thermal conductivity @1200°C | 23 W/m•K |
Elastic modulus | 240 GPA |
Ho hanyetsa mocheso oa mocheso | E ntle haholo |