Pele ho tsohle, re hloka ho tsebaPECVD(Plasma e Matlafalitsoeng ke Mouoane oa Lik'hemik'hale). Plasma ke ho matlafala ha motsamao oa mocheso oa limolek'hule tsa lintho tse bonahalang. Ho thulana pakeng tsa bona ho tla etsa hore limolek'hule tsa khase li be ionized, 'me thepa e tla fetoha motsoako oa li-ion tse ntle tse tsamaeang ka bolokolohi, lielektrone le likaroloana tse sa nke lehlakore tse sebelisanang.
Ho hakanngoa hore sekhahla sa tahlehelo ea leseli holim'a silicon se phahame hoo e ka bang 35%. Filimi e khahlanong le ho bonahatsa e ka ntlafatsa haholo tekanyo ea tšebeliso ea khanya ea letsatsi ka sele ea betri, e thusang ho eketsa sekhahla sa hona joale sa photogenerated 'me kahoo ho ntlafatsa katleho ea phetoho. Ka nako e ts'oanang, haedrojene filiming e feta holim'a sele ea betri, e fokotsa sekhahla sa ho kopanya bocha ha matekoane a emitter, e fokotsa hona joale e lefifi, e eketsa motlakase oa potoloho e bulehileng, 'me e ntlafatsa bokhoni ba ho fetola photoelectric. Theko e phahameng ea mocheso hang-hang ts'ebetsong ea ho chesa e senya likamano tse ling tsa Si-H le NH, 'me H e lokolotsoeng e matlafatsa ho feta ha betri.
Kaha lisebelisoa tsa silicon tsa "photovoltaic-grade" li na le litšila tse ngata le bofokoli, nako ea bophelo ba bajari ba fokolang le bolelele ba ho hasana ka silicon bo fokotsehile, e leng se bakang ho fokotseha ha matla a ho fetola betri. H e ka sebetsana le bofokoli kapa litšila ho silicon, kahoo e fetisetsa sehlopha sa matla se ka har'a sehlopha sa valence kapa sehlopha sa conduction.
1. Molao-motheo oa PECVD
Sistimi ea PECVD ke letoto la lijenereithara tse sebelisangPECVD sekepe sa graphite le li-exciters tsa plasma tse phahameng haholo. Jenereithara ea plasma e kenngoa ka ho toba bohareng ba poleiti ea ho roala ho itšoara tlas'a khatello e tlaase le mocheso o phahameng. Likhase tse sebetsang tse sebelisoang ke silane SiH4 le ammonia NH3. Likhase tsena li sebetsa ho silicon nitride e bolokiloeng holim'a sephaphatha sa silicon. Li-indices tse fapaneng tsa refractive li ka fumanoa ka ho fetola karolelano ea silane ho ammonia. Nakong ea ts'ebetso ea ho beha, ho hlahisoa palo e kholo ea liathomo tsa haedrojene le li-ion tsa haedrojene, e leng se etsang hore hydrogen passivation ea wafer e be ntle haholo. Ka har'a vacuum le mocheso o teng oa likhato tse 480 tsa Celsius, lera la SixNy le apesoa holim'a lesela la silicon ka ho tsamaisaPECVD sekepe sa graphite.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
'Mala oa filimi ea Si3N4 o fetoha le botenya ba eona. Ka kakaretso, botenya bo loketseng bo pakeng tsa 75 le 80 nm, bo bonahalang bo le boputsoa bo lefifi. Lenane la refractive la filimi ea Si3N4 le molemo ka ho fetisisa pakeng tsa 2.0 le 2.5. Hangata joala bo sebelisoa ho metha index ea eona ea refractive.
Phello e ntle ea ho fetella holimo, ts'ebetso e sebetsang e ntle ea anti-reflection (thickness refractive index matching), ts'ebetso e tlase ea mocheso (e fokotsang litšenyehelo ka katleho), 'me li-ion tsa H tse hlahisitsoeng li fetisa bokaholimo ba silicon.
3. Litaba tse tloaelehileng ho lithupelo tsa ho roala
Botenya ba filimi:
Nako ea ho beha filimi e fapane bakeng sa botenya ba lifilimi tse fapaneng. Nako ea deposition e lokela ho eketsoa kapa e fokotsehe ka nepo ho latela 'mala oa ho roala. Haeba filimi e le mosesaane, nako ea ho lema e lokela ho fokotsoa. Haeba e le khubelu, e lokela ho eketsoa ka mokhoa o loketseng. Sekepe se seng le se seng sa lifilimi se lokela ho netefatsoa ka botlalo, 'me lihlahisoa tse nang le bokooa ha lia lumelloa ho phalla ts'ebetsong e latelang. Ka mohlala, haeba ho roala ho fokola, joalo ka matheba a mebala le li-watermark, ho soeufala ha bokaholimo ho tloaelehileng, phapang ea mebala le matheba a masoeu moleng oa tlhahiso li lokela ho khethoa ka nako. Ho soeufala ha holimo ho bakoa haholo-holo ke filimi e teteaneng ea silicon nitride, e ka fetoloang ka ho fetola nako ea ho beha filimi; filimi ea phapang ea mebala e bakoa haholo ke ho thibela tsela ea khase, ho lutla ha tube ea quartz, ho hloleha ha microwave, joalo-joalo; matheba a masoeu a bakoa haholo-holo ke matheba a manyane a matšo tšebetsong e fetileng. Tlhokomelo ea reflectivity, refractive index, joalo-joalo, polokeho ea likhase tse khethehileng, joalo-joalo.
Matheba a masoeu holim'a metsi:
PECVD ke ts'ebetso e batlang e le ea bohlokoa liseleng tsa letsatsi le sesupo sa bohlokoa sa ts'ebetso ea lisele tsa letsatsi tsa k'hamphani. Ts'ebetso ea PECVD hangata e phathahane, 'me sehlopha ka seng sa lisele se hloka ho beoa leihlo. Ho na le li-tubes tse ngata tsa sebōpi, 'me ka kakaretso tube ka' ngoe e na le lisele tse makholo (ho itšetlehile ka thepa). Ka mor'a ho fetola mekhoa ea ts'ebetso, potoloho ea ho netefatsa e telele. Theknoloji ea ho roala ke theknoloji eo indasteri eohle ea photovoltaic e e nkang e le ea bohlokoa haholo. Ho sebetsa hantle ha lisele tsa letsatsi ho ka ntlafatsoa ka ho ntlafatsa theknoloji ea ho roala . Nakong e tlang, theknoloji ea holim'a lisele tsa letsatsi e ka fetoha katleho e kholo ea ts'ebetso ea theory ea lisele tsa letsatsi.
Nako ea poso: Dec-23-2024