Mokhoa oa ho hloekisa sekepe sa graphite sa PECVD?| Matla a VET

1. Ho ananela pele ho hloekisa

1) Ha hoPECVD sekepe sa graphite/ carrier e sebelisoa ho feta makhetlo a 100 ho isa ho a 150, mosebeletsi o hloka ho hlahloba boemo ba ho roala ka nako. Haeba ho na le seaparo se sa tloaelehang, se hloka ho hloekisoa le ho tiisoa. 'Mala o tloaelehileng oa ho roala oa lesela la silicon ka har'a sekepe sa graphite / carrier o putsoa. Haeba sephaphatha se na le 'mala o se nang boputsoa,' me mebala e mengata, kapa phapang ea 'mala pakeng tsa li-wafers e kholo, ke seaparo se sa tloaelehang,' me sesosa sa ho se tloaelehe se hloka ho netefatsoa ka nako.
2) Kamora ts'ebetso ea basebetsi ba sekaseka boemo ba ho roala baPECVD sekepe sa graphite/ mojari, ba tla etsa qeto ea hore na seketsoana sa graphite se hloka ho hloekisoa le hore na ntlha ea karete e hloka ho nkeloa sebaka, 'me sekepe sa graphite / sejari se hlokang ho hloekisoa se tla nehelanoa ho basebetsi ba thepa bakeng sa ho hloekisa.

 

3) Ka mor'a moosekepe sa graphite/ mokhanni o senyehile, basebetsi ba tlhahiso ba tla ntša liphaphatha tsohle tsa silicon ka sekepeng sa graphite ebe ba sebelisa CDA (moea o hatelitsoeng) ho hlophisa likhechana tse ka har'a sekepe.sekepe sa graphite. Kamora ho qeta, basebetsi ba tla e phahamisetsa ka tankeng ea asiti e lokisitsoeng ka karolo e itseng ea tharollo ea HF bakeng sa ho e hloekisa.

 

2. Ho hloekisa sekepe sa graphite

Ho khothalletsoa ho sebelisa tharollo ea 15-25% ea hydrofluoric acid bakeng sa lipotoloho tse tharo tsa ho hloekisa, e 'ngoe le e' ngoe bakeng sa lihora tse 4-5, 'me nako le nako e hlahisa naetrojene nakong ea ho kolobisa le ho hloekisa, ho eketsa hoo e ka bang halofo ea hora ea ho hloekisa; hlokomela: ha e khothalletsoe ho sebelisa moea ka kotloloho e le mohloli oa khase bakeng sa ho phatloha. Ka mor'a ho khetha, hlatsoa ka metsi a hloekileng ka lihora tse ka bang 10, 'me u netefatse hore sekepe se hloekisitsoe hantle. Ka mor'a ho hloekisa, ka kopo sheba bokaholimo ba sekepe, ntlha ea karete ea graphite le karolo ea pampiri ea sekepe, le likarolo tse ling ho bona hore na ho na le masala a silicon nitride. Ebe o omella ho latela litlhoko.

3. Litlhokomelo tsa ho hloekisa

A) Kaha asiti ea HF ke ntho e senyang haholo 'me e na le ho feto-fetoha ho itseng, e kotsi ho basebetsi. Ka hona, basebetsi sebakeng sa ho hloekisa ba tlameha ho nka mehato ea polokeho mme ba laoloe ke motho ea inehetseng.

B) Ho kgothaletswa ho qhaqha seketsoana le ho hloekisa karolo ea graphite feela nakong ea ho hloekisa, e le hore karolo e 'ngoe le e' ngoe ea ho kopana e ka hloekisoa ka ho feletseng. Hona joale, bahlahisi ba bangata ba malapeng ba sebelisa ho hloekisa ka kakaretso, ho leng bonolo, empa hobane HF acid e senya likarolo tsa ceramic, ho hloekisa ka kakaretso ho tla khutsufatsa bophelo ba tšebeletso ea likarolo tse lumellanang.