SiC Coating Graphite MOCVD Wafer Carriers Susceptors

Fa'amatalaga Puupuu:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth ose oloa maualuga fa'atinoga ua fuafuaina e maua ai le fa'atinoga tumau ma fa'atuatuaina i se vaitaimi umi. E sili atu le lelei o le vevela ma le tutusa o le vevela, maualuga le mama, teteʻe o le tafia, ma avea ai ma vaifofo lelei mo le gaosiga o talosaga.

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Fa'amatalaga Oloa

Faailoga o oloa

SiC coating graphite MOCVD Wafer carriers/susceptor

O matou susceptors uma e faia i le maualuga-malosi isostatic graphite. Fa'amanuiaga mai le maualuga o le mama o tatou graphites - fa'atupuina fa'apitoa mo faiga lu'itau e pei o le epitaxy, fa'atupu tioata, fa'apipi'iina o le ion ma le fa'apipi'iina o le plasma, fa'apea fo'i ma le gaosiga o chips LED.

Vaega oa tatou oloa:

1. maualuga le vevela oxidation tetee atu i le 1700 ℃.
2. maualuga mama ma vevela tutusa
3. Lelei le fa'afefeteina: acid, alkali, masima ma meaola fa'aola.
4. Maaa maualuga, faʻapipiʻi luga, vaega laiti.
5. Le soifua tautua umi ma sili atu le umi

CVD SiC薄膜基本物理性能 Meatino fa'aletino autu o le CVD SiCufiufi
性质 / Meatotino	典型数值 / Taua masani
晶体结构 / Fa'a tioata	FCC β vaega多晶，主要为（111）取向
密度 / Malosi	3.21 g/cm³
硬度 / Maaa	2500 维氏硬度（500g uta）
晶粒大小 / Saito Tele	2~10μm
纯度 / Vailaau Mama	99.99995%
热容 / Malosiaga vevela	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sulimation Temperature	2700 ℃
抗弯强度 / Malosi Fa'alilolilo	415 MPa RT 4-point
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt pi'o, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductivity	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Fa'alauteleina o le vevela(CTE)	4.5×10^-6K^-1

O le VET Energy o le gaosiga moni lea o oloa faʻapipiʻi faʻapipiʻi ma carbide silicon ma faʻapipiʻi eseese e pei o le SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, ma isi, e mafai ona tuʻuina atu vaega faʻapitoa mo semiconductor ma photovoltaic alamanuia.

O la matou 'au fa'atekinisi e sau mai fa'alapotopotoga su'esu'e fa'apitonu'u pito i luga, e mafai ona tu'uina atu fa'afitauli fa'apitoa fa'apitoa mo oe.

O lo'o fa'aauau pea ona matou fa'atupuina faiga fa'agasolo e tu'uina atu ai mea e sili atu ona maualuga, ma ua fa'atinoina se tekonolosi pateni fa'apitoa, lea e mafai ona fa'amalosia atili ai le so'otaga i le va o le fa'apipi'i ma le mea fa'apipi'i ma fa'aitiitia ai le fa'ateteleina.

Faʻafeiloaʻi faʻafeiloaʻi oe e asiasi i la matou falegaosimea, seʻi o tatou faia nisi talanoaga!