Sudový susceptor potiahnutý SiC

Hlavný susceptor potiahnutý SiC Obrázkom

Stručný popis:

VET Energy SiC Coated Barrel Susceptor je vysoko výkonný produkt navrhnutý tak, aby poskytoval konzistentný a spoľahlivý výkon po dlhšiu dobu. Má super dobrú tepelnú odolnosť a tepelnú rovnomernosť, vysokú čistotu, odolnosť proti erózii, vďaka čomu je dokonalým riešením pre aplikácie na spracovanie plátkov.

Miesto pôvodu:Čína

Kryštálová štruktúra:FCCβ fáza

hustota:3,21 g/cm;

Tvrdosť:2500 Vickers;

Veľkosť zrna:2~10μm;

Chemická čistota:99,99995 %;

Tepelná kapacita:640J·kg-1·K-1;

Teplota sublimácie:2700 ℃;

Felexurálna sila:415 MPa (RT 4-bod);

Youngov modul:430 Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃);

Tepelná expanzia (CTE):4,5 10-6K-1;

Tepelná vodivosť:300 (W/MK);

Pošlite nám e-mail Stiahnuť ako PDF

Detail produktu

Štítky produktu

Sudový susceptor is a kľúčkomponent používaný v rôznych procesoch výroby polovodičov.Na výrobu používame našu patentovanú technológiusudový susceptorsextrémne vysoká čistota,dobrenáterjednotnosťa vynikajúcou životnosťou, ako ajvysoká chemická odolnosť a tepelná stabilita.

VET Energy je askutočný výrobca prispôsobených produktov z grafitu a karbidu kremíka s CVD povlakom,môže dodaťrôzneprispôsobené diely pre polovodičový a fotovoltaický priemysel. Ováš technický tím pochádza zo špičkových domácich výskumných inštitúcií, môže poskytnúť profesionálnejšie materiálové riešeniapre vás.

Neustále vyvíjame pokročilé procesy na poskytovanie pokročilejších materiálov,avyvinuli exkluzívnu patentovanú technológiu, vďaka ktorej je spojenie medzi náterom a substrátom pevnejšie a menej náchylné na oddelenie.

Fvlastnosti našich produktov:

1. Odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote do 1700℃.
2. Vysoká čistota atepelná rovnomernosť
3. Vynikajúca odolnosť proti korózii: kyselinám, zásadám, soliam a organickým činidlám.
4. Vysoká tvrdosť, kompaktný povrch, jemné častice.
5. Dlhšia životnosť a odolnejšia

CVD SiC薄膜基本物理性能 Základné fyzikálne vlastnosti CVD SiCnáter
性质 / Nehnuteľnosť	典型数值 / Typická hodnota
晶体结构 / Kryštálová štruktúra	FCC β fáza多晶，主要为（111）取向
密度 / Hustota	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdosť	2500 维氏硬度（500g náplň）
晶粒大小 / Veľkosť zrna	2 ~ 10 μm
纯度 / Chemická čistota	99,99995 %
热容 / Tepelná kapacita	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Teplota sublimácie	2700 ℃
抗弯强度 / Pevnosť v ohybe	415 MPa RT 4-bod
杨氏模量 / Youngov modul	Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300 ℃
导热系数 / ThermalVodivosť	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Tepelná expanzia (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1