Nerovnomernosť bombardovania iónmi Suché leptanie je zvyčajne proces, ktorý kombinuje fyzikálne a chemické účinky, pri ktorom je bombardovanie iónmi dôležitou metódou fyzikálneho leptania. Počas procesu leptania môže byť uhol dopadu a rozloženie energie iónov nerovnomerné. Ak sa ión objaví...
Prečítajte si viac