vet-china සෑම කල් පවතින බව සහතික කරයිසිලිකන් කාබයිඩ් වේෆර් හැසිරවීමේ පැඩලයවිශිෂ්ට කාර්ය සාධනයක් සහ කල්පැවැත්මක් ඇත. මෙම සිලිකන් කාබයිඩ් වේෆර් හැසිරවීමේ පැඩලය එහි ව්‍යුහාත්මක ස්ථායීතාවය සහ ක්‍රියාකාරීත්වය ඉහළ උෂ්ණත්ව හා රසායනික විඛාදන පරිසරයක පවතින බව සහතික කිරීම සඳහා උසස් නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන් භාවිතා කරයි. මෙම නව්‍ය නිර්මාණය අර්ධ සන්නායක වේෆර් හැසිරවීම සඳහා, විශේෂයෙන් ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් ස්වයංක්‍රීය මෙහෙයුම් සඳහා විශිෂ්ට සහායක් සපයයි.
SiC Cantilever Paddleඔක්සිකරණ උදුන, විසරණ උදුන සහ ඇනීලිං උදුන වැනි අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන උපකරණවල භාවිතා වන විශේෂිත සංරචකයකි, ප්‍රධාන භාවිතය වන්නේ වේෆර් පැටවීම සහ බෑම, ඉහළ උෂ්ණත්ව ක්‍රියාවලීන්හිදී වේෆර් ආධාරක සහ ප්‍රවාහනය සඳහා ය.
පොදු ව්යුහයන්හිSiCcප්රති-ලීවර්paddle: කැන්ටිලිවර් ව්‍යුහයක්, එක් කෙළවරක සවි කර ඇති අතර අනෙක් කෙළවරේ නිදහස්, සාමාන්‍යයෙන් පැතලි සහ පැඩල් වැනි මෝස්තරයක් ඇත.
වැඩ කරනවාpප්රතිපත්තිමයහිSiCcප්රති-ලීවර්paddle:
කැන්ටිලිවර් පැඩලයට උදුන කුටීරය තුළ ඉහළට සහ පහළට හෝ පසුපසට සහ පසුපසට ගමන් කළ හැකිය, එය ෙව්ෆර් පැටවීමේ ප්‍රදේශවල සිට සැකසුම් ප්‍රදේශවලට හෝ සැකසුම් ප්‍රදේශවලින් පිටතට ගෙනයාමට, ඉහළ-උෂ්ණත්ව සැකසීමේදී වේෆර්වලට ආධාරක සහ ස්ථාවර කිරීමට භාවිතා කළ හැකිය.
| Recrystallized Silicon Carbide හි භෞතික ගුණාංග | |
| දේපල | සාමාන්ය අගය |
| වැඩ කරන උෂ්ණත්වය (°C) | 1600 ° C (ඔක්සිජන් සහිත), 1700 ° C (පරිසරය අඩු කිරීම) |
| SiC අන්තර්ගතය | > 99.96% |
| නොමිලේ Si අන්තර්ගතය | < 0.1% |
| තොග ඝනත්වය | 2.60-2.70 g / සෙ.මී3 |
| පෙනෙන porosity | < 16% |
| සම්පීඩන ශක්තිය | > 600 MPa |
| සීතල නැමීමේ ශක්තිය | 80-90 MPa (20°C) |
| උණුසුම් නැමීමේ ශක්තිය | 90-100 MPa (1400°C) |
| තාප ප්‍රසාරණය @1500°C | 4.70 10-6/°සී |
| තාප සන්නායකතාවය @1200°C | 23 W/m•K |
| ඉලාස්ටික් මොඩියුලය | 240 GPa |
| තාප කම්පන ප්රතිරෝධය | අතිශයින්ම හොඳයි |
