උසස්SiC Cantilever Paddlevet-china විසින් නිර්මාණය කරන ලද Wafer සැකසුම් සඳහා අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා විශිෂ්ට විසඳුමක් සපයයි. මෙම cantilever paddle සෑදී ඇත්තේ SiC (සිලිකන් කාබයිඩ්) ද්‍රව්‍ය වලින් වන අතර එහි ඉහළ දෘඪතාව සහ තාප ප්රතිරෝධය නිසා ඉහළ උෂ්ණත්ව සහ විඛාදන පරිසරයන්හිදී විශිෂ්ට කාර්ය සාධනයක් පවත්වා ගැනීමට හැකියාව ලැබේ. Cantilever Paddle හි සැලසුම සැකසීමේදී වේෆරයට විශ්වාසදායක ලෙස සහාය වීමට ඉඩ සලසයි, ඛණ්ඩනය වීමේ හා හානිවීමේ අවදානම අඩු කරයි.
SiC Cantilever Paddleඔක්සිකරණ උදුන, විසරණ උදුන සහ ඇනීලිං උදුන වැනි අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන උපකරණවල භාවිතා වන විශේෂිත සංරචකයකි, ප්‍රධාන භාවිතය වන්නේ වේෆර් පැටවීම සහ බෑම, ඉහළ උෂ්ණත්ව ක්‍රියාවලීන්හිදී වේෆර් ආධාරක සහ ප්‍රවාහනය සඳහා ය.
පොදු ව්යුහයන්හිSiCcප්රති-ලීවර්paddle: කැන්ටිලිවර් ව්‍යුහයක්, එක් කෙළවරක සවි කර ඇති අතර අනෙක් කෙළවරේ නිදහස්, සාමාන්‍යයෙන් පැතලි හා පැඩල් වැනි මෝස්තරයක් ඇත.
VET බලශක්තිය ගුණාත්මක බව සහතික කිරීම සඳහා ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ප්‍රතිස්ඵටිකීකරණය කරන ලද සිලිකන් කාබයිඩ් ද්‍රව්‍ය භාවිතා කරයි.
| Recrystallized Silicon Carbide හි භෞතික ගුණාංග | |
| දේපල | සාමාන්ය අගය |
| වැඩ කරන උෂ්ණත්වය (°C) | 1600 ° C (ඔක්සිජන් සහිත), 1700 ° C (පරිසරය අඩු කිරීම) |
| SiC අන්තර්ගතය | > 99.96% |
| නිදහස් Si අන්තර්ගතය | < 0.1% |
| තොග ඝනත්වය | 2.60-2.70 g / සෙ.මී3 |
| පෙනෙන porosity | < 16% |
| සම්පීඩන ශක්තිය | > 600MPa |
| සීතල නැමීමේ ශක්තිය | 80-90 MPa (20°C) |
| උණුසුම් නැමීමේ ශක්තිය | 90-100 MPa (1400°C) |
| තාප ප්‍රසාරණය @1500°C | 4.70 10-6/°සී |
| තාප සන්නායකතාවය @1200°C | 23W/m•K |
| ඉලාස්ටික් මොඩියුලය | 240 GPa |
| තාප කම්පන ප්රතිරෝධය | අතිශයින්ම හොඳයි |
වේෆර් සැකසුම් සඳහා VET Energy's Advanced SiC Cantilever Paddle හි වාසි වන්නේ:
-ඉහළ උෂ්ණත්ව ස්ථායීතාවය: 1600 ° C ට වැඩි පරිසරවල භාවිතා කළ හැකිය;
-අඩු තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය: මාන ස්ථායීතාවය පවත්වා ගැනීම, වේෆර් යුධ පිටු අවදානම අඩු කිරීම;
ඉහළ සංශුද්ධතාවය: ලෝහ දූෂණය වීමේ අඩු අවදානම;
-රසායනික උදාසීනත්වය: විඛාදනයට ඔරොත්තු දෙන, විවිධ වායු පරිසරයන් සඳහා සුදුසු ය;
-ඉහළ ශක්තිය සහ දෘඪතාව: ඇඳුම්-ප්රතිරෝධී, දිගු සේවා කාලය;
- හොඳ තාප සන්නායකතාව: ඒකාකාර වේෆර් උණුසුම සඳහා උපකාරී වේ.
