Vet-චීනයසිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික්ආෙල්පනය යනු අතිශය දෘඩ සහ ඇඳුම්-ප්‍රතිරෝධී වලින් සාදන ලද ඉහළ කාර්යසාධනයකින් යුත් ආරක්ෂිත ආලේපනයකිසිලිකන් කාබයිඩ් (SiC)ද්රව්යය, විශිෂ්ට රසායනික විඛාදන ප්රතිරෝධය සහ ඉහළ උෂ්ණත්ව ස්ථායීතාවයක් සපයයි. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී මෙම ලක්ෂණ ඉතා වැදගත් වේසිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ආලේපනයඅර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන උපකරණවල ප්රධාන සංරචකවල බහුලව භාවිතා වේ.
Vet-China හි නිශ්චිත කාර්යභාරයසිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික්අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ ආලේපනය පහත පරිදි වේ:
උපකරණ කල්පැවැත්ම වැඩි දියුණු කිරීම:සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ආලේපනය සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ආලේපනය අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන උපකරණ සඳහා එහි අතිශය ඉහළ දෘඪතාව සහ ඇඳුම් ප්රතිරෝධය සඳහා විශිෂ්ට මතුපිට ආරක්ෂාවක් සපයයි. විශේෂයෙන්ම රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (CVD) සහ ප්ලාස්මා එතීම වැනි ඉහළ උෂ්ණත්ව හා අධික විඛාදන ක්රියාවලි පරිසරයන්හිදී, ආලේපනය මඟින් උපකරණවල මතුපිට රසායනික ඛාදනය හෝ භෞතික ඇඳුම් වලින් හානි වීම වළක්වා ගත හැකි අතර එමඟින් සේවා කාලය සැලකිය යුතු ලෙස දිගු කරයි. උපකරණ සහ නිතර නිතර ආදේශ කිරීම සහ අලුත්වැඩියා කිරීම නිසා ඇතිවන අක්රිය කාලය අඩු කිරීම.
ක්රියාවලි සංශුද්ධතාවය වැඩි දියුණු කිරීම:අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී, කුඩා දූෂණයක් නිෂ්පාදන දෝෂ ඇති කළ හැක. සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ආලේපනයේ රසායනික නිෂ්ක්‍රියතාවය ආන්තික තත්වයන් යටතේ ස්ථායීව සිටීමට ඉඩ සලසයි, ද්‍රව්‍ය අංශු හෝ අපද්‍රව්‍ය මුදා හැරීම වළක්වයි, එමඟින් ක්‍රියාවලියේ පාරිසරික සංශුද්ධතාවය සහතික කරයි. PECVD සහ අයන තැන්පත් කිරීම වැනි ඉහළ නිරවද්‍යතාවයක් සහ ඉහළ පිරිසිදුකමක් අවශ්‍ය වන නිෂ්පාදන පියවර සඳහා මෙය විශේෂයෙන් වැදගත් වේ.
තාප කළමනාකරණය ප්‍රශස්ත කරන්න:වේගවත් තාප සැකසුම් (RTP) සහ ඔක්සිකරණ ක්රියාවලි වැනි අධි-උෂ්ණත්ව අර්ධ සන්නායක සැකසුම් වලදී, සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ආලේපනයේ ඉහළ තාප සන්නායකතාවය උපකරණය තුළ ඒකාකාර උෂ්ණත්ව ව්‍යාප්තිය සක්‍රීය කරයි. මෙය උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන් නිසා ඇතිවන තාප ආතතිය සහ ද්රව්යමය විරූපණය අඩු කිරීමට උපකාරී වන අතර එමගින් නිෂ්පාදන නිෂ්පාදන නිරවද්යතාව සහ අනුකූලතාව වැඩි දියුණු කරයි.
සංකීර්ණ ක්රියාවලි පරිසරයට සහාය වීම:ICP කැටයම් සහ PSS කැටයම් ක්රියාවලි වැනි සංකීර්ණ වායුගෝලීය පාලනයක් අවශ්‍ය වන ක්‍රියාවලීන්හිදී, සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ආලේපනයේ ස්ථායීතාවය සහ ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධය මඟින් උපකරණ දිගු කාලීනව ක්‍රියාත්මක වීමේදී ස්ථායී කාර්ය සාධනයක් පවත්වා ගෙන යන බව සහතික කරයි. පාරිසරික වෙනස්කම් වලට.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC හි මූලික භෞතික ගුණාංගආලේපනය | |
| 性质 / දේපල | 典型数值 / සාමාන්ය අගය |
| 晶体结构 / ස්ඵටික ව්යුහය | FCC β අදියර多晶,主要为（111）取向 |
| 密度 / ඝනත්වය | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / දෘඪතාව | 2500 维氏硬度 (ග්රෑම් 500 බර) |
| 晶粒大小 / ධාන්ය ප්රමාණය | 2~10μm |
| 纯度 / රසායනික සංශුද්ධතාවය | 99.99995% |
| 热容 / තාප ධාරිතාව | 640 J·kg-1·කේ-1 |
| 升华温度 / Sublimation උෂ්ණත්වය | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Flexural ශක්තිය | 415 MPa RT 4-ලක්ෂ්‍යය |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt වංගුව, 1300℃ |
| 导热系数 / තාපඑල්සන්නායකතාව | 300W·m-1·කේ-1 |
| 热膨胀系数 / තාප ප්‍රසාරණය (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
අපගේ කර්මාන්ත ශාලාව නැරඹීමට ඔබව සාදරයෙන් පිළිගනිමු, අපි තවදුරටත් සාකච්ඡා කරමු!
