Пластинчатый токоприемник с CVD-покрытием TaC

Краткое описание:

Пластинчатый токоприемник VET Energy CVD с покрытием TaC представляет собой высокопроизводительный продукт, предназначенный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода. Он обладает очень хорошей термостойкостью и термической однородностью, высокой чистотой и устойчивостью к эрозии, что делает его идеальным решением для обработки пластин.


Детали продукта

Теги продукта

CVD-покрытие TaCПластинчатый токоприемник от vet-china разработан для обеспечения высокой производительности в процессах химического осаждения из паровой фазы (CVD). Этот токоприемник имеет прочнуюПокрытие TaC (карбид тантала), обеспечивающий исключительную термическую стабильность, химическую стойкость и долговечность, что делает его идеальным решением для производства полупроводников и высокотемпературных применений.CVD-покрытие TaCобеспечивает превосходную стойкость к окислению и износу, позволяя токоприемнику сохранять целостность и работоспособность в суровых условиях окружающей среды.

ветеринар-китайCVD-покрытие TaCPlate Susceptor отличается своей способностью равномерно распределять тепло во время процессов CVD, обеспечивая точное нанесение слоев и повышая эффективность производства полупроводников. Покрытие Ta-C обеспечивает дополнительную защиту от химической коррозии, продлевая срок службы токоприемника и улучшая его общие характеристики. Благодаря сочетанию передовой CVD-технологии токоприемника и высококачественных химических покрытий TaC этот токоприемник является ключевым компонентом для отраслей, требующих точности и надежности в высокотемпературных средах.

Независимо от того, используется ли он в производстве полупроводников или других высокотехнологичных приложениях,Пластинчатый токоприемник с покрытием CVD TaCразработан с учетом требований современного производства. Благодаря репутации компании Semicera в области инноваций и качества, этот продукт обеспечивает превосходную производительность и долговечность, что делает его надежным выбором для процессов CVD.

Покрытие TaC представляет собой разновидность покрытия из карбида тантала (TaC), полученного методом физического осаждения из паровой фазы, и имеет следующие характеристики:

1. Высокая твердость: твердость покрытия TaC высокая, обычно может достигать 2500-3000HV, является отличным твердым покрытием.

2. Износостойкость: покрытие TaC очень износостойкое, что позволяет эффективно снизить износ и повреждение механических деталей во время использования.

3. Хорошая устойчивость к высоким температурам: покрытие TaC также может сохранять свои отличные характеристики в условиях высоких температур.

4. Хорошая химическая стабильность: покрытие TaC обладает хорошей химической стабильностью и может противостоять многим химическим реакциям, таким как кислоты и основания.

Покрытие TaC13
Покрытие TaC10

碳化钽涂层物理特性物理特性

Физические свойства ТаС покрытие

密度/ Плотность

14,3 (г/см³)

比辐射率 / Удельная излучательная способность

0,3

热膨胀系数 / Коэффициент теплового расширения

6,3 10-6/K

努氏硬度/ Твердость (ГК)

2000 Гонконг

电阻 / Сопротивление

1×10-5 Ом*см

热稳定性 / Термическая стабильность

<2500 ℃

石墨尺寸变化 / Изменение размера графита

-10~-20ум

涂层厚度 / Толщина покрытия

Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd - высокотехнологичное предприятие, специализирующееся на производстве и продаже высококачественных современных материалов, материалов и технологий, включая графит, карбид кремния, керамику, обработку поверхности и так далее. Продукция широко используется в фотоэлектрической, полупроводниковой, новой энергетике, металлургии и т. д.

Наша техническая команда состоит из ведущих отечественных исследовательских институтов и может предоставить вам более профессиональные решения в области материалов.

Сердечно приветствуем вас посетить нашу фабрику, давайте обсудим!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Онлайн-чат WhatsApp!