Бочковой токоприемник для жидкофазной эпитаксии LPE

Бочковой токоприемник для жидкофазной эпитаксии ЖФЭ

ЭПИ (эпитаксии)Это важнейший процесс в производстве современных полупроводников. Он предполагает нанесение тонких слоев материала на подложку для создания сложных структур устройства. Графитовые цилиндрические токоприемники с покрытием из SiC для EPI обычно используются в качестве токоприемников в реакторах EPI из-за их превосходной теплопроводности и устойчивости к высоким температурам. СCVD-SiC покрытие, он становится более устойчивым к загрязнению, эрозии и тепловому удару. Это приводит к увеличению срока службы токоприемника и улучшению качества пленки.

Преимущества нашего баррельчатого токоприемника для жидкофазной эпитаксии ЖФЭ:
Снижение загрязнения:Инертная природа SiC предотвращает прилипание примесей к поверхности токоприемника, снижая риск загрязнения осажденных пленок.
Повышенная устойчивость к эрозии:Карбид кремния значительно более устойчив к эрозии, чем обычный графит, что приводит к увеличению срока службы токоприемника.
Улучшенная термическая стабильность:Карбид кремния обладает превосходной теплопроводностью и может выдерживать высокие температуры без значительных искажений.
Улучшенное качество фильма:Улучшенная термическая стабильность и снижение загрязнения приводят к получению более качественных осажденных пленок с улучшенной однородностью и контролем толщины.