Эпитаксиальный эпиграфитовый цилиндрический токоприемник

Эпитаксиальный эпиграфитовый цилиндрический токоприемник

Эпитаксиальный эпиграфитовый цилиндрический токоприемникпредставляет собой специально разработанное поддерживающее и нагревательное устройство, используемое для удержания и нагрева полупроводниковых подложек во время производственных процессов, таких как процессы осаждения или эпитаксии.

Его структура обычно цилиндрическая или слегка бочкообразная, поверхность имеет множество карманов или площадок для размещения пластин, может быть сплошной или полой в зависимости от способа нагрева.

Основные функции эпитаксиального бочкообразного токоприемника:

-Поддержка подложки: надежно удерживает несколько полупроводниковых пластин;
-Источник тепла: обеспечивает высокие температуры, необходимые для роста за счет нагрева;
-Однородность температуры: обеспечивает равномерный нагрев подложек;
-Вращение: обычно вращается во время роста для улучшения равномерности распределения температуры и газа.

Принцип работы токоприемника с графитовым стволом Epi:
- В эпитаксиальном реакторе цилиндрический токоприемник нагревается до необходимой температуры (обычно 1000℃-1200℃ для эпитаксии кремния);
- Ствол-приемник вращается, чтобы обеспечить равномерное распределение температуры и потока газа;
-Реакционные газы разлагаются при высоких температурах, образуя эпитаксиальные слои на поверхности подложки.

Приложения:
-В основном используется для эпитаксиального роста кремния.
-Также применимо для эпитаксии других полупроводниковых материалов, таких как GaAs, InP и т. д.

VET Energy использует графит высокой чистоты с покрытием CVD-SiC для повышения химической стабильности:

Преимущества эпитаксиального эпиграфитового бочкового сенсептора VET Energy:

-Высокая температурная стабильность;
-Хорошая тепловая однородность;
-Может обрабатывать несколько субстратов одновременно, повышая эффективность производства;
-Химически инертен, поддерживает среду роста высокой чистоты.