Преимущества обработки LMJ
Неизбежные дефекты обычной лазерной обработки можно преодолеть за счет разумного использования лазерной микроструйной технологии (LMJ) для распространения оптических характеристик воды и воздуха. Эта технология позволяет лазерным импульсам, полностью отраженным в обрабатываемой струе воды высокой чистоты, беспрепятственно достигать обрабатываемой поверхности, как в оптическом волокне. С точки зрения использования основные характеристики технологии LMJ следующие:
1.Лазерный луч представляет собой столбчатую (параллельную) структуру.
2. Лазерный импульс передается в водоструйном аппарате, как оптическое волокно, которое защищено от любых воздействий окружающей среды.
3.Лазерный луч фокусируется в оборудовании LMJ, при этом высота обрабатываемой поверхности не изменяется в течение всего процесса обработки, поэтому нет необходимости постоянно фокусироваться при изменении глубины обработки во время процесса обработки.
4. Помимо абляции материала заготовки, происходящей во время каждого лазерного импульса, около 99% времени в каждой единице времени от начала каждого импульса до следующего импульса обрабатываемый материал находится в режиме охлаждения в режиме реального времени. воды, тем самым практически стирая зону термического влияния и слой переплавки, но сохраняя высокую эффективность обработки.
5. Продолжайте очищать обработанную поверхность.
Общая спецификация | LCSA-100 | LCSA-200 |
Объем столешницы | 125 х 200 х 100 | 460×460×300 |
Линейная ось XY | Линейный двигатель. Линейный двигатель | Линейный двигатель. Линейный двигатель |
Линейная ось Z | 100 | 300 |
Точность позиционирования мкм | +/- 5 | +/- 3 |
Точность повторного позиционирования мкм | +/- 2 | +/- 1 |
Ускорение G | 0,5 | 1 |
Числовое управление | 3-осевой | 3-осевой |
Lасер |
|
|
Тип лазера | ДПСС Nd: YAG | DPSS Nd: YAG, импульсный |
Длина волны, нм | 532/1064 | 532/1064 |
Номинальная мощность Вт | 50/100/200 | 200/400 |
Водяная струя |
|
|
Диаметр сопла мкм | 25-80 | 25-80 |
Давление сопла, бар | 100-600 | 0-600 |
Размер/Вес |
|
|
Размеры (машина) (Ш х Д х В) | 1050 х 800 х 1870 | 1200 х 1200 х 2000 |
Размеры (шкаф управления) (Ш х Д х В) | 700 х 2300 х 1600 | 700 х 2300 х 1600 |
Масса (оборудования) кг | 1170 | 2500-3000 |
Масса (шкаф управления), кг | 700-750 | 700-750 |
Комплексное энергопотребление |
|
|
Iввод | 230 В переменного тока +6%/-10%, однонаправленное, 50/60 Гц ±1% | 400 В переменного тока +6%/-10%, 3-фазный, 50/60 Гц ±1% |
Пиковое значение | 2,5 кВА | 2,5 кВА |
Jмонета | Кабель питания длиной 10 м: P+N+E, 1,5 мм2 | Кабель питания длиной 10 м: P+N+E, 1,5 мм2 |
Область применения для полупроводниковой промышленности | Круглый слиток ≤4 дюймов кусочки слитков ≤4 дюймов Разметка слитков ≤4 дюймов
| ≤6 дюймов круглый слиток кусочки слитка ≤6 дюймов Разметка слитков ≤6 дюймов Машина соответствует 8-дюймовому теоретическому значению круговой/нарезки/нарезки, и конкретные практические результаты должны быть оптимизированы для стратегии резки. |