Placă și capac din grafit cu acoperire cu carbură de siliciu

Acoperire cu carbură de siliciu Placă și capac pentru tavă din grafit Imagine prezentată

Scurtă descriere:

Placa și capacul din grafit de acoperire cu carbură de siliciu VET Energy este un produs de înaltă performanță conceput pentru a oferi performanțe consistente și fiabile pe o perioadă lungă de timp. Are o rezistență foarte bună la căldură și uniformitate termică, puritate ridicată, rezistență la eroziune, făcându-l soluția perfectă pentru aplicațiile de prelucrare a plachetelor.

Trimiteți-ne un e-mail Descărcați ca PDF

Detaliu produs

Etichete de produs

Energie VETTavă din grafit cu acoperire cu carbură de siliciu, Plate și Cover sunt concepute pentru a oferi performanțe de top, oferind o funcționare fiabilă și consecventă în timpul utilizării prelungite, făcându-l o alegere esențială pentru aplicațiile de procesare a plachetelor din industria semiconductoarelor. Acest înaltă performanțăPlacă de grafit de acoperire cu carbură de siliciuse mândrește cu rezistență la căldură excepțională, uniformitate termică superioară și stabilitate chimică remarcabilă, în special în condiții de temperatură ridicată. Construcția sa de înaltă puritate, cuplată cu rezistența avansată la eroziune, o face indispensabilă pentru medii solicitante, cum ar fisusceptori MOCVD.

Caracteristici cheie ale tăvii, plăcii și capacului din grafit cu acoperire cu carbură de siliciu

1. Rezistența la oxidare la temperatură înaltă:Rezistă la temperaturi de până la 1700℃, permițându-i să funcționeze fiabil în condiții extreme.

2. Puritate ridicată și uniformitate termică:Puritatea ridicată constantă și distribuția uniformă a căldurii sunt cruciale pentru aplicațiile MOCVD.

3. Rezistență excepțională la coroziune:Rezistent la acizi, alcaline, săruri și diferiți reactivi organici, asigurând stabilitate pe termen lung în diverse medii.

4. Duritate ridicată și suprafață compactă:Prezintă o suprafață densă cu particule fine, îmbunătățind durabilitatea generală și rezistența la uzură.

5. Durată de viață extinsă:Proiectat pentru longevitate, depășind cele convenționalesusceptori de grafit acoperiți cu carbură de siliciuîn medii dure de procesare a semiconductoarelor.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Proprietățile fizice de bază ale CVD SiCacoperire
性质 / Proprietate	典型数值 / Valoare tipică
晶体结构 / Structura de cristal	faza β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densitatea	3,21 g/cm³
硬度 / Duritate	2500 维氏硬度（încărcare 500g）
晶粒大小 / Dimensiunea boabelor	2~10μm
纯度 / Puritatea chimică	99,99995%
热容 / Capacitatea termică	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimare	2700℃
抗弯强度 / Rezistența la încovoiere	415 MPa RT în 4 puncte
杨氏模量 / Modulul tinerilor	430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductivitate	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansiune termică (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Expertiza VET Energy în soluții personalizate de grafit și carbură de siliciu

Ca producător de încredere, VET Energy este specializată în susceptori de grafit proiectați la comandă și soluții de acoperire cu carbură de siliciu. Oferim o gamă de produse adaptate pentru industriile semiconductoare și fotovoltaice, inclusivComponente din grafit acoperite cu SiCprecum tăvi, farfurii și capace. Gama noastră de produse include, de asemenea, diverse opțiuni de acoperire, cum ar fiAcoperire SiC pentru MOCVD, Acoperire TaC, strat de carbon sticlosși acoperire cu carbon pirolitic, asigurându-ne că îndeplinim cerințele variate ale industriilor de înaltă tehnologie.

Echipa noastră tehnică cu experiență, formată din experți de la instituții de cercetare naționale de top, oferă clienților soluții materiale complete. Ne perfecționăm continuu procesele avansate, inclusiv o tehnologie exclusivă brevetată care îmbunătățește legătura dintre stratul de carbură de siliciu și substratul de grafit, reducând riscul de detașare și prelungind și mai mult durata de viață a produsului.

Aplicații și beneficii în fabricarea semiconductorilor

TheAcoperire cu carbură de siliciu pentru MOCVDface ca acești susceptori de grafit să fie extrem de eficienți în medii corozive, la temperaturi ridicate. Indiferent dacă sunt folosiți ca purtători de plachete de grafit sau alte componente MOCVD, acești susceptori acoperiți cu carbură de siliciu demonstrează durabilitate și performanță superioare. Pentru cei care caută soluții de încredere înSusceptor de grafit acoperit cu SiCpe piață, tava, placa și capacul din grafit acoperite cu carbură de siliciu de la VET Energy oferă o opțiune robustă și versatilă care răspunde cerințelor riguroase ale industriei semiconductoarelor.

Concentrându-se pe știința materialelor avansate, VET Energy se angajează să furnizeze soluții de înaltă performanță din grafit acoperit cu SiC, care stimulează inovația în procesarea semiconductoarelor și asigură performanță fiabilă în toate aplicațiile legate de MOCVD.

VET Energy este adevăratul producător de produse personalizate din grafit și carbură de siliciu cu diferite acoperiri, cum ar fi acoperirea SiC, acoperirea TaC, acoperirea cu carbon sticlos, acoperirea cu carbon pirolitic etc., poate furniza diverse piese personalizate pentru industria semiconductoare și fotovoltaică.

Echipa noastră tehnică provine din instituții de cercetare naționale de top și vă poate oferi soluții materiale mai profesionale.

Dezvoltăm continuu procese avansate pentru a oferi materiale mai avansate și am elaborat o tehnologie exclusivă brevetată, care poate face legătura dintre acoperire și substrat mai strânsă și mai puțin predispusă la detașare.

Vă urăm călduros să vizitați fabrica noastră, să avem discuții suplimentare!