1. Confirmare înainte de curățare
1) CândBarcă din grafit PECVD/carrier este utilizat de mai mult de 100 până la 150 de ori, operatorul trebuie să verifice starea acoperirii la timp. Dacă există un strat anormal, acesta trebuie curățat și confirmat. Culoarea normală de acoperire a plachetei de siliciu din barca/suportul de grafit este albastră. Dacă napolitana are culori multiple, non-albastre, sau diferența de culoare dintre napolitane este mare, este o acoperire anormală, iar cauza anormalității trebuie confirmată în timp.
2) După ce personalul procesului analizează starea de acoperire aBarcă din grafit PECVD/carrier, ei vor stabili dacă barca din grafit trebuie curățată și dacă trebuie înlocuit punctul cardului, iar barca/transportul din grafit care trebuie curățat va fi predată personalului echipamentului pentru curățare.
3) Dupăbarca de grafit/carrierul este deteriorat, personalul de producție va scoate toate napolitanele de siliciu din barca de grafit și va folosi CDA (aer comprimat) pentru a sorta fragmentele dinbarca de grafit. După finalizare, personalul echipamentului îl va ridica în rezervorul de acid care a fost pregătit cu o anumită proporție de soluție HF pentru curățare.
2. Curățarea bărcii din grafit
Se recomandă utilizarea unei soluții de acid fluorhidric 15-25% pentru trei runde de curățare, fiecare timp de 4-5 ore, și barbotarea periodică de azot în timpul procesului de înmuiere și curățare, adăugând aproximativ o jumătate de oră de curățare; notă: nu se recomandă utilizarea aerului direct ca sursă de gaz pentru barbotare. După decapare, clătiți cu apă pură timp de aproximativ 10 ore și confirmați că barca a fost curățată temeinic. După curățare, vă rugăm să verificați suprafața bărcii, punctul cardului de grafit și îmbinarea foii bărcii și alte părți pentru a vedea dacă există reziduuri de nitrură de siliciu. Apoi uscați conform cerințelor.
3. Precauții de curățare
A) Deoarece acidul HF este o substanță foarte corozivă și are o anumită volatilitate, este periculos pentru operatori. Prin urmare, operatorii de la postul de curățenie trebuie să ia măsuri de siguranță și să fie gestionați de o persoană dedicată.
B) Se recomandă să dezasamblați barca și să curățați doar partea din grafit în timpul curățării, astfel încât fiecare parte de contact să poată fi curățată mai bine. În prezent, mulți producători interni folosesc curățarea generală, ceea ce este convenabil, dar deoarece acidul HF este coroziv pentru piesele ceramice, curățarea generală va scurta durata de viață a pieselor corespunzătoare.
Ora postării: 23-dec-2024