Producător din China SiC Coated Graphit MOCVD Epitaxie Susceptor

Scurtă descriere:

Puritate < 5 ppm
‣ O bună uniformitate la dopaj
‣ Densitate mare și aderență
‣ Bună rezistență la coroziune și carbon

‣ Personalizare profesională
‣ Timp scurt de livrare
‣ Aprovizionare stabilă
‣ Controlul calității și îmbunătățirea continuă

Epitaxia GaN pe Sapphire(RGB/Mini/Micro LED);
Epitaxia GaN pe substrat Si(UVC);
Epitaxia GaN pe substrat Si(Dispozitiv electronic);
Epitaxia Si pe substrat Si(Circuit integrat);
Epitaxia SiC pe substrat SiC(Substrat);
Epitaxia InP pe InP

Trimiteți-ne un e-mail Descărcați ca PDF

Detaliu produs

Etichete de produs

Susceptor MOCVD de înaltă calitate Cumpărați online în China

O napolitană trebuie să treacă prin mai mulți pași înainte de a fi gata de utilizare în dispozitive electronice. Un proces important este epitaxia de siliciu, în care plachetele sunt transportate pe susceptori de grafit. Proprietățile și calitatea susceptorilor au un efect crucial asupra calității stratului epitaxial al plachetei.

Pentru fazele de depunere a filmului subțire, cum ar fi epitaxie sau MOCVD, VET furnizează echipamente de grafit ultra-pur utilizate pentru a susține substraturi sau „plachete”. În centrul procesului, acest echipament, susceptori de epitaxie sau platforme satelit pentru MOCVD, sunt mai întâi supuse mediului de depunere:

Temperatură ridicată.
Vid ridicat.
Utilizarea precursorilor gazoși agresivi.
Zero contaminare, absența peelingului.
Rezistență la acizi puternici în timpul operațiunilor de curățare

VET Energy este adevăratul producător de produse personalizate din grafit și carbură de siliciu cu acoperire pentru industria semiconductoare și fotovoltaică. Echipa noastră tehnică provine din instituții de cercetare naționale de top și vă poate oferi soluții materiale mai profesionale.

Dezvoltăm continuu procese avansate pentru a oferi materiale mai avansate și am elaborat o tehnologie exclusivă brevetată, care poate face legătura dintre acoperire și substrat mai strânsă și mai puțin predispusă la detașare.

Caracteristicile produselor noastre:

1. Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate de până la 1700℃.
2. Puritate ridicată și uniformitate termică
3. Rezistență excelentă la coroziune: acid, alcali, sare și reactivi organici.
4. Duritate mare, suprafață compactă, particule fine.
5. Durată de viață mai lungă și mai durabilă

CVD SiC薄膜基本物理性能 Proprietățile fizice de bază ale CVD SiCacoperire
性质 / Proprietate	典型数值 / Valoare tipică
晶体结构 / Structura de cristal	faza β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densitatea	3,21 g/cm³
硬度 / Duritate	2500 维氏硬度（încărcare 500g）
晶粒大小 / Dimensiunea boabelor	2~10μm
纯度 / Puritatea chimică	99,99995%
热容 / Capacitatea termică	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimare	2700℃
抗弯强度 / Rezistența la încovoiere	415 MPa RT în 4 puncte
杨氏模量 / Modulul tinerilor	430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductivitate	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansiune termică (CTE)	4,5×10^-6K^-1