Placa e tampa da bandeja de grafite com revestimento de carboneto de silício

Breve descrição:

A placa e tampa de grafite com revestimento de carboneto de silício VET Energy é um produto de alto desempenho projetado para fornecer desempenho consistente e confiável por um longo período. Possui excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafer.

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Energia EFPBandeja de grafite com revestimento de carboneto de silício, Plate, and Cover foi projetado para oferecer desempenho de alto nível, proporcionando operação confiável e consistente durante uso prolongado, tornando-o uma escolha essencial para aplicações de processamento de wafer na indústria de semicondutores. Este alto desempenhoPlaca de grafite com revestimento de carboneto de silíciopossui excepcional resistência ao calor, uniformidade térmica superior e excelente estabilidade química, especialmente em condições de alta temperatura. Sua construção de alta pureza, aliada à avançada resistência à erosão, torna-o indispensável para ambientes exigentes comoSusceptores MOCVD.

Principais recursos da bandeja, placa e tampa de grafite com revestimento de carboneto de silício

1. Resistência à oxidação em alta temperatura:Suporta temperaturas de até 1700°C, permitindo um desempenho confiável em condições extremas.

2. Alta pureza e uniformidade térmica:Alta pureza consistente e distribuição uniforme de calor são cruciais para aplicações MOCVD.

3. Resistência excepcional à corrosão:Resistente a ácidos, álcalis, sais e diversos reagentes orgânicos, garantindo estabilidade a longo prazo em diversos ambientes.

4. Alta dureza e superfície compacta:Apresenta uma superfície densa com partículas finas, melhorando a durabilidade geral e a resistência ao desgaste.

5. Vida útil prolongada:Projetado para longevidade, superando o convencionalsusceptores de grafite revestidos com carboneto de silícioem ambientes severos de processamento de semicondutores.

DCV SiC薄膜基本物理性能 Propriedades físicas básicas do CVD SiCrevestimento
性质 / Propriedade	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estrutura Cristalina	Fase β do FCC多晶, 主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21g/cm³
硬度 / Dureza	2500 unidades (carga de 500g)
晶粒大小 /Tamanho do grão	2~10μm
纯度 / Pureza Química	99,99995%
热容 / Capacidade de calor	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de Sublimação	2700°C
抗弯强度 / Resistência à flexão	415 MPa RT de 4 pontos
杨氏模量 / Módulo de Young	Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
导热系数 / TermaeuCondutividade	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansão Térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Experiência da VET Energy em soluções personalizadas de grafite e carboneto de silício

Como fabricante confiável, a VET Energy é especializada em susceptores de grafite personalizados e soluções de revestimento de carboneto de silício. Oferecemos uma gama de produtos adaptados às indústrias de semicondutores e fotovoltaica, incluindoComponentes de grafite revestidos com SiCcomo bandejas, pratos e tampas. Nossa linha de produtos também inclui diversas opções de revestimento, comoRevestimento SiC para MOCVD, Revestimento TaC, revestimento de carbono vítreoe revestimento pirolítico de carbono, garantindo o atendimento às diversas demandas das indústrias de alta tecnologia.

Nossa experiente equipe técnica, composta por especialistas das principais instituições de pesquisa nacionais, fornece soluções abrangentes de materiais para os clientes. Refinamos continuamente nossos processos avançados, incluindo uma tecnologia patenteada exclusiva que melhora a ligação entre o revestimento de carboneto de silício e o substrato de grafite, reduzindo o risco de desprendimento e prolongando ainda mais a vida útil do produto.

Aplicações e benefícios na fabricação de semicondutores

ORevestimento de carboneto de silício para MOCVDtorna esses susceptores de grafite altamente eficazes em ambientes corrosivos e de alta temperatura. Quer sejam usados como transportadores de wafer de grafite ou outros componentes MOCVD, esses susceptores revestidos de carboneto de silício demonstram durabilidade e desempenho superiores. Para quem busca soluções confiáveis noSusceptor de grafite revestido com SiCmercado, a bandeja, placa e tampa de grafite revestida com carboneto de silício da VET Energy oferecem uma opção robusta e versátil que atende às rigorosas demandas da indústria de semicondutores.

Ao focar na ciência de materiais avançados, a VET Energy está comprometida em fornecer soluções de grafite revestidas com SiC de alto desempenho que impulsionam a inovação no processamento de semicondutores e garantem um desempenho confiável em todas as aplicações relacionadas ao MOCVD.

VET Energy é o verdadeiro fabricante de produtos personalizados de grafite e carboneto de silício com diferentes revestimentos, como revestimento SiC, revestimento TaC, revestimento de carbono vítreo, revestimento de carbono pirolítico, etc., pode fornecer várias peças personalizadas para a indústria de semicondutores e fotovoltaica.

Nossa equipe técnica vem das principais instituições de pesquisa nacionais e pode fornecer soluções de materiais mais profissionais para você.

Desenvolvemos continuamente processos avançados para fornecer materiais mais avançados e desenvolvemos uma tecnologia patenteada exclusiva, que pode tornar a ligação entre o revestimento e o substrato mais firme e menos propensa a descolamento.

Calorosamente bem-vindo para visitar nossa fábrica, vamos discutir mais!