Como limpar o barco de grafite PECVD？| Energia EFP

1. Reconhecimento antes da limpeza

1) Quando oBarco de grafite PECVD/carrier é usado mais de 100 a 150 vezes, o operador precisa verificar a tempo a condição do revestimento. Se houver um revestimento anormal, ele deverá ser limpo e confirmado. A cor normal do revestimento do wafer de silício no barco/transportador de grafite é azul. Se o wafer tiver várias cores diferentes do azul ou se a diferença de cor entre os wafers for grande, é um revestimento anormal e a causa da anormalidade precisa ser confirmada a tempo.
2) Após o pessoal do processo analisar a condição do revestimento doBarco de grafite PECVD/transportador, eles determinarão se o barco de grafite precisa ser limpo e se a ponta do cartão precisa ser substituída, e o barco/transportador de grafite que precisa ser limpo será entregue ao pessoal do equipamento para limpeza.

 

3) Depois dobarco de grafite/transportador estiver danificado, o pessoal de produção retirará todas as pastilhas de silício do barco de grafite e usará CDA (ar comprimido) para separar os fragmentos nobarco de grafite. Após a conclusão, o pessoal do equipamento irá colocá-lo no tanque de ácido que foi preparado com uma certa proporção de solução HF para limpeza.

 

2. Limpeza de barco de grafite

Recomenda-se usar uma solução de ácido fluorídrico 15-25% para três rodadas de limpeza, cada uma por 4-5 horas, e borbulhar nitrogênio periodicamente durante o processo de imersão e limpeza, acrescentando cerca de meia hora de limpeza; nota: não é recomendado usar ar diretamente como fonte de gás para borbulhar. Após a decapagem, enxágue com água pura por cerca de 10 horas e confirme se o barco foi bem limpo. Após a limpeza, verifique a superfície do barco, a ponta do cartão de grafite e a junta da chapa do barco e outras peças para ver se há algum resíduo de nitreto de silício. Em seguida, seque de acordo com os requisitos.

3. Precauções de limpeza

A) Como o ácido HF é uma substância altamente corrosiva e possui certa volatilidade, é perigoso para os operadores. Portanto, os operadores do posto de limpeza devem tomar precauções de segurança e ser gerenciados por uma pessoa dedicada.

B) Recomenda-se desmontar o barco e limpar apenas a parte de grafite durante a limpeza, para que cada parte de contato possa ser limpa mais profundamente. Atualmente, muitos fabricantes nacionais utilizam limpeza geral, o que é conveniente, mas como o ácido HF é corrosivo para as peças cerâmicas, a limpeza geral encurtará a vida útil das peças correspondentes.